Новости и события

11 декабря 2015 года

В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур

16 октября 2015 года

Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER