Новости и события

Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры
11 декабря 2015 года

В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур

Завершены приемо-сдаточные испытания и введены в эксплуатацию две вытяжные системы для жидкостных химических процессов
29 октября 2015 года

Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию двух вытяжных систем для жидкостных химических процессов компании Ramgraber, Германия

Получены первые тестовые структуры с разрешением 10 нм
16 октября 2015 года

Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER

Завершены квалификационные испытания и введена в эксплуатацию система распределения специальных газов
12 октября 2015 года

Совместно с российскими и немецкими партнерами завершены квалификационные испытания и введена в эксплуатацию система распределения специальных газов НОЦ ФМН

Завершены приемо-сдаточные испытания и введена в эксплуатацию установка электронно-лучевой литографии
30 сентября 2015 года

Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию установки электронно-лучевой литографии VOYAGER компании Raith, Германия

Завершены приемо-сдаточные испытания и введен в эксплуатацию комплекс нанесения/сушки/проявления резистов
13 августа 2015 года

Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию комплекса нанесения/сушки/проявления резистов серии CEE200 компании Brewer Science, США

Запущена станция водоподготовки
29 июля 2015 года

Совместно с немецкими партнерами проведена сборка и пуско-наладка станции водоподготовки НОЦ ФМН

Завершена сертификация чистокомнатных помещений
17 июля 2015 года

Совместно с российскими и швейцарскими партнерами проведена сертификация чистокомнатных помещений НОЦ ФМН

Наноплазмоника
4 февраля 2014 года

По результатам выполнения проекта будут изготовлены сенсоры, обладающие чувствительностью к взрывчатым и опасным веществам на уровне единичных молекул.