Интерактивная карта

1
Вход в центр
2
Офис
3
Раздевалка ЧПП
4
Плазмохимическое травление
5
Коридор ЧПП
6
Осаждение тонких плёнок
7
Жидкостная химия
8
Литография
9
Метрология
10
Вакуумно-зондовая метрология
11
Эллипсометрия

Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода

Последние события ФМН