Воздухоподготовка

  • трехступенчатая очистка воздуха
  • HEPA/ULPA фильтрация
  • 99,9995% фильтрация частиц >0,3мкм
  • контроль температуры с точностью ±0,1ºС
  • контроль влажности с точностью ±5%
  • химически стойкая вытяжка
  • вытяжка для воспламеняющихся веществ
  • скрубберы для очистки вытяжек
  • ультрасовременная система пожаротушения
Микро- и нанотехнологии предполагают изготовление устройств с характерными размерами элементов до 1 микрона и менее 100 нанометров соответственно. Это означает, что, во-первых, любая частица пыли (характерный диаметр частиц пыли от долей микрона до долей миллиметра) или человеческий волос (диаметром 70 –110 микрон), могут накрыть/испортить создаваемые технологами структуры и устройства, как ствол дерева, упавший на спичечный коробок. Во-вторых, при изготовлении используются ультрачистые реагенты и газы, которые, например, позволяют получать атомарно - гладкие пленки структурно идеальных материалов, поэтому наличие в окружающем воздухе посторонних примесей может полностью разрушить задуманный учеными эксперимент. Для исключений подобных факторов в современных технологических центрах применяют совершенные системы подготовки воздуха.
При проектировании технологического центра НОЦ ФМН особое внимание было уделено принципиальной схеме подготовки воздуха, компоновке элементов системы, их интеграции в существующее здание и систему инженерных коммуникаций, а также инструментов автоматического мониторинга и управления системой подготовки воздуха, так как выбор технических решений именно этой части инфраструктуры во многом определяет результирующий класс чистоты помещений технологического центра, стоимость периодического обслуживания и эксплуатационную стоимость (стоимость «владения»). 
При реализации системы подготовки воздуха использованы оборудование и комплектующие ведущих производителей Германии, Швейцарии и США.



 

  
Новости ФМН
Новая статья в Coatings Опубликована работа
Новая статья в Coatings
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.