Воздухоподготовка

  • трехступенчатая очистка воздуха
  • HEPA/ULPA фильтрация
  • 99,9995% фильтрация частиц >0,3мкм
  • контроль температуры с точностью ±0,1ºС
  • контроль влажности с точностью ±5%
  • химически стойкая вытяжка
  • вытяжка для воспламеняющихся веществ
  • скрубберы для очистки вытяжек
  • ультрасовременная система пожаротушения
   Говоря о микро и нанотехнологиях, предполагают изготовление устройств с характерными размерами элементов до 1 микрона и менее 100 нанометров соответственно. Это означает, что, во-первых, любая частица пыли (характерный диаметр частиц пыли от долей микрона до долей миллиметра) или человеческий волос (диаметром 70 –110 микрон), могут накрыть/испортить создаваемые технологами структуры и устройства, как ствол дерева, упавший на спичечный коробок. Во-вторых, при изготовлении используются ультрачистые реагенты и газы, которые, например, позволяют получать атомарно - гладкие пленки структурно идеальных материалов, поэтому наличие в окружающем воздухе посторонних примесей может полностью разрушить задуманный учеными эксперимент. Для исключений подобных факторов в современных технологических центрах применяют совершенные системы подготовки воздуха.



    При проектировании технологического центра особое внимание было уделено принципиальной схеме подготовки воздуха, компоновке элементов системы, их интеграции в существующее здание и систему инженерных коммуникаций, а также инструментов автоматического мониторинга и управления системой подготовки воздуха, так как выбор технических решений именно этой части инфраструктуры во многом определяет результирующий класс чистоты помещений технологического центра, стоимость периодического обслуживания и эксплуатационную стоимость (стоимость «владения»). При реализации системы подготовки воздуха использованы оборудование и комплектующие ведущих производителей Германии, Швейцарии и США.

    Как ни странно, но большая часть затрат на поддержание работоспособности технологического центра тратится именно на «воздух», т.е. на обеспечение постоянного притока тысяч кубометров в час высоко очищенного воздуха, создание его ламинарного потока в самых чистых зонах технологического центра, обеспечение избыточного давления, прецизионное управление температурой и влажностью, а также обеспечение различных типов вытяжки. Причем работает эта система в режиме 24/7, т.е. круглосуточно без выходных и праздников.

 

    В НОЦ ФМН реализована трехступенчатая очистка воздуха, которая обеспечивает выходную фильтрацию частиц пыли размером до 0,3 микрона с эффективностью не хуже 99,999% (на всех участках с классом чистоты до ISO5) и 99,9995% (на участках с классом чистоты ISO5 и выше). Это сделано для того, чтобы в режиме реального времени удалять очищенным воздухом появляющиеся в чистых зонах загрязнения, основным источником которых являются люди. Воздух на последней стадии очистки (непосредственно на потолке чистой комнаты) подаётся со скоростью 0,3 – 0,5 м/с через HEPA или ULPA-фильтры в чистую зону, проходит от потолка до пола, обдувая людей и оборудование, и выбрасывается в сервисные зоны через воздушные решетки. Количество таких решеток рассчитано, исходя из воздушного баланса приточного воздуха, всех типов вытяжки и необходимости поддержания избыточного давления.

    Необходимость поддержания избыточного давления также связана с особой чистотой участков технологического центра, чем выше класс чистоты участка технологического центра, тем выше и давление, поддерживаемое на этом участке. Так, при открывании двери из менее чистого помещения в более чистое, поток воздуха будет всегда направлен в менее чистую зону, что позволяет не вносить дополнительных загрязнений в самые чистые зоны технологического центра. Для поддержания заданного уровня избыточного давления определенное (рассчитанное при проектировании) количество воздушных решеток оснащены исполнительными механизмами, которые могут регулировать количество проходящего через них воздуха, закрывая/открывая жалюзи решетки. Эта автоматическая система объединяет в единый механизм системы подготовки воздуха, управления технологическими вытяжками, контроля доступа в помещения и обеспечивает обратную связь.

   Например, при открытии двери из чистого коридора (область пониженного давления) в любой технологический участок (область повышенного давления) давление «стремится» выровняться. В этот момент система управления подготовкой воздуха, во-первых, приводит в движение жалюзи воздушных решеток, выравнивая давление внутри помещений к их заданным значениям. Во-вторых, обеспечивает управлением теплообменниками и парогенераторами, поддерживая температуру и влажность в заданных границах. В тот же момент система контроля доступа блокирует все остальные двери, реализуя локальное шлюзование, чтобы исключить перемешивание воздуха (а значит генерацию частиц) между различными чистыми зонами. При этом системы пожаротушения и газоанализа в режиме реального времени получают информацию о состоянии всех перечисленных подсистем, готовясь в любой момент «помочь» в случае нештатных ситуаций.

  

    При этом одной из основных задач системы подготовки воздуха является обеспечение условий для штатного проведения технологических процессов. Практически все высокоточные технологические и метрологические операции в Центре крайне чувствительны к изменению температуры и влажности. Система подготовки воздуха и локальные климатические установки обеспечивают поддержание температуры с точностью до ±0,1ºС в зонах повышенных требований к температурной стабильности, таких, например, как участок электронно-лучевой литографии. Влажность поддерживается с точностью ±5%.

    В НОЦ ФМН при проведении технологических операций используется широкий спектр растворителей, кислот, щелочей, химических реагентов, газов и т.д. Для предотвращения их возможного взаимодействия после протекания технологических процессов, вытяжка разделена на три подсистемы: химически стойкая, для воспламеняющихся веществ и отдельно вытяжка из газовых кабинетов. Такое разделение позволяет исключить даже гипотетическую возможность смешения отходов с образованием нештатных ситуаций. При этом все опасные продукты реакций и технологических процессов перед сбросом в вытяжку обязательно подаются в скруббера, где происходит нейтрализация опасных веществ.
Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...