О центре
Почему ФМН?

    На базе Научно-образовательного центра «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ "ФМНС") мы реализуем на практике междисциплинарные исследования в области микро и нанотехнологий, благодаря уникальному сочетанию профессиональной команды, сложнейших инфраструктурных подсистем и ультрасовременного оборудования.
    За год реализован международный проект на территории 2000 м2, объединяющей в единый механизм 600 м2 чистых комнат (ISO3 - ISO7), участок пробоподготовки, прикладную лабораторию, проектный офис и семь зон размещения инфраструктурных подсистем.   
    Спустя 1,5 года от начала строительства были изготовлены первые наноструктуры с разрешением 10 нм. Мы работаем на подложках различных материалов размером от 1х1 см2 до 200 мм диаметром

Леонардо да Винчи Итальянский живописец, скульптор, архитектор, ученый, инженер эпохи Возрождения
«Испытай один раз полет, и твои глаза навечно будут устремлены в небо. Однажды там побывав, на всю жизнь ты обречен тосковать о нем»
  • Команда
  • Инфраструктура
  • Оборудование

Мы уделяем особое внимание формированию сплоченной команды, способной решать сложнейшие задачи...

Именно поэтому наш коллектив – это сплав молодости и опыта, более 50 сотрудников, среди которых опытные профессионалы, именитые ученые, инженеры-технологи и проектировщики, молодые аспиранты и студенты. Мы активно привлекаем к реализации научных исследований, опытно-конструкторских и промышленных разработок ведущих российских специалистов, живущих за рубежом, с целью их дальнейшего возвращения на Родину.

Отдельной приоритетной задачей является воспитание молодых научных и инженерных кадров, реализуя "Русский метод обучения", мы привлекаем магистрантов и аспирантов российских ВУЗов-партнеров и воспитываем новое поколение будущих инженеров, технологов и ученых.

Работа центра невозможна без сложнейших инфраструктурных подсистем...

Проектирование и реализация технологического центра проведены совместно с ведущими российскими и мировыми компаниями, в ходе реализации использованы комплектующих признанных мировых лидеров. Среди партнеров и поставщиков: MECAL (Нидерланды), Элточприбор (РФ), Hager + Elsaesser (Германия), Ritterwand (Германия), TMC (США), Forbo Group (Швейцария), Faeth (Германия), Linde Gas (Германия), Spectron (США), Collabratech (США), Drager (Германия) и др. Однако, главным проектировщиком и застройщиком центра выступила российская компания, что и определило высокие темпы (один год) и уровень качества реализации.

Трехступенчатая 99.9995% очистка воздуха, 4-х ступенчатая система виброизоляции высоко чувствительного технологического оборудования, ультрачистая деионизованная вода с фильтрацией частиц до 20 нм, система обеспечения особо чистыми спецгазами...

Оборудование ведущих мировых производителей завершает триаду...

В 2015 году технологический центр дооснащен оборудованием последнего поколения ведущих мировых производителей таких, как Carl Zeiss (Германия), Karl Suss (Германия), Oxford Plasma Technology (Англия), Raith (Германия), Heidelberg (Германия), KLA-Tencor (США), YES (США), Sentech (Германия), Nikon (Япония), Ramgraber (Германия), Woolam (США) и др.

Возможности технологического комплекса включают процессы электронно-лучевой, лазерной и оптической литографии, осаждения тонких пленок, плазмохимического, жидкостного и парового травления широкого спектра материалов, а также необходимые контрольно-измерительные методы, возможности исследования новых материалов и пробоподготовки...

Основатели
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Александров Анатолий Александрович

«В этом технологическом центре вместе с нашими партнерами из ВНИИ автоматики мы попытались собрать лучшее оборудование исследовательского класса для реализации замкнутого цикла разработок с применением микро- и нанотехнологий от научной идеи до прикладной реализации.

Нанофотоника и оптика, биосенсорика и «лаборатория-на-чипе», элементная база на новых физических принципах, альтернативная энергетика – это лишь немногие примеры областей прикладных исследований, которые стали доступны нашим преподавателям, учащимся и партнерам»

«При создании Центра важным для нас являлась не только возможность консолидации усилий ученых, преподавателей и студентов МГТУ и ученых ВНИИ автоматики для решения оборонных и гражданских задач, но и привлечение к работе в институте талантливых выпускников одного из лучших ВУЗов страны. Судя по энтузиазму, с которым ведутся работы в Центре, и достигнутым за столь короткое время результатам, своей цели мы достигли.

Хотелось бы пожелать коллективу Центра удовлетворения от интересной работы, реализации идей в конкретных приборах и побольше хороших статей в ведущих журналах»

ФГУП «ВНИИА»
Андрияш Александр Викторович

Что нового в ФМН

В центре внимания
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября, 2017
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации -  T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec,  J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга  OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга  OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного ...
Последние события ФМН Все новости
Годовые отчеты

Все отчеты