О центре
Почему ФМН
На базе Научно-образовательного центра «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ "ФМНС") мы реализуем на практике междисциплинарные исследования в области микро и нанотехнологий, благодаря уникальному сочетанию профессиональной команды, сложнейших инфраструктурных подсистем и ультрасовременного оборудования.    
За год реализован международный проект на территории 2000 м2, объединяющей в единый механизм 600 мчистых комнат (ISO3 - ISO7), участок пробоподготовки, прикладную лабораторию, проектный офис и семь зон размещения инфраструктурных подсистем.   
Спустя 1,5 года от начала строительства были изготовлены первые наноструктуры с разрешением 10 нм. Мы работаем на подложках различных материалов размером от 1х1 см2 до 200 мм диаметром
Зигмунд Фрейд Австрийский психолог, психиатр и невролог, автор теории психоанализа
«Мы выбираем не случайно друг друга... Мы встречаем только тех, кто уже существует в нашем подсознании»
  • Команда
  • Инфраструктура
  • Оборудование

Мы уделяем особое внимание формированию сплоченной команды, способной решать сложнейшие задачи...

Именно поэтому наш коллектив – это сплав молодости и опыта, более 50 сотрудников, среди которых опытные профессионалы, именитые ученые, инженеры-технологи и проектировщики, молодые аспиранты и студенты. Мы активно привлекаем к реализации научных исследований, опытно-конструкторских и промышленных разработок ведущих российских специалистов, живущих за рубежом, с целью их дальнейшего возвращения на Родину.

Отдельной приоритетной задачей является воспитание молодых научных и инженерных кадров, реализуя "Русский метод обучения", мы привлекаем магистрантов и аспирантов российских ВУЗов-партнеров и воспитываем новое поколение будущих инженеров, технологов и ученых.

Работа центра невозможна без сложнейших инфраструктурных подсистем...

Проектирование и реализация технологического центра проведены совместно с ведущими российскими и мировыми компаниями, в ходе реализации использованы комплектующих признанных мировых лидеров. Среди партнеров и поставщиков: MECAL (Нидерланды), Элточприбор (РФ), Hager + Elsaesser (Германия), Ritterwand (Германия), TMC (США), Forbo Group (Швейцария), Faeth (Германия), Linde Gas (Германия), Spectron (США), Collabratech (США), Drager (Германия) и др. Однако, главным проектировщиком и застройщиком центра выступила российская компания, что и определило высокие темпы (один год) и уровень качества реализации.

Трехступенчатая 99.9995% очистка воздуха, 4-х ступенчатая система виброизоляции высоко чувствительного технологического оборудования, ультрачистая деионизованная вода с фильтрацией частиц до 20 нм, система обеспечения особо чистыми спецгазами...

Оборудование ведущих мировых производителей завершает триаду...

В 2015 году технологический центр дооснащен оборудованием последнего поколения ведущих мировых производителей таких, как Carl Zeiss (Германия), Karl Suss (Германия), Oxford Plasma Technology (Англия), Raith (Германия), Heidelberg (Германия), KLA-Tencor (США), YES (США), Sentech (Германия), Nikon (Япония), Ramgraber (Германия), Woolam (США) и др.

Возможности технологического комплекса включают процессы электронно-лучевой, лазерной и оптической литографии, осаждения тонких пленок, плазмохимического, жидкостного и парового травления широкого спектра материалов, а также необходимые контрольно-измерительные методы, возможности исследования новых материалов и пробоподготовки...

Основатели
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Александров Анатолий Александрович

«В этом технологическом центре вместе с нашими партнерами из ВНИИ автоматики мы попытались собрать лучшее оборудование исследовательского класса для реализации замкнутого цикла разработок с применением микро- и нанотехнологий от научной идеи до прикладной реализации.

Нанофотоника и оптика, биосенсорика и «лаборатория-на-чипе», элементная база на новых физических принципах, альтернативная энергетика – это лишь немногие примеры областей прикладных исследований, которые стали доступны нашим преподавателям, учащимся и партнерам»

«При создании Центра важным для нас являлась не только возможность консолидации усилий ученых, преподавателей и студентов МГТУ и ученых ВНИИ автоматики для решения оборонных и гражданских задач, но и привлечение к работе в институте талантливых выпускников одного из лучших ВУЗов страны. Судя по энтузиазму, с которым ведутся работы в Центре, и достигнутым за столь короткое время результатам, своей цели мы достигли.

Хотелось бы пожелать коллективу Центра удовлетворения от интересной работы, реализации идей в конкретных приборах и побольше хороших статей в ведущих журналах»

ФГУП «ВНИИА»
Андрияш Александр Викторович

Что нового в ФМН

В центре внимания
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября, 2017
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации -  T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec,  J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга  OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга  OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного ...
Последние события ФМН Все новости
Годовые отчеты

Все отчеты