Технологии
Технологии

Оборудование

Оборудование
Уникальный комплекс оборудования, включающий электронно-лучевую, лазерную и оптическую литографию, осаждение тонких пленок, плазмохимическое, жидкостное, паровое травление и очистку широкого спектра материалов, бондинг пластин и все необходимые контрольно-измерительные методы, а также возможности исследования новых материалов и пробоподготовки
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Метрология
Жидкостная обработка
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Литография
Новости ФМН
Научная Россия: в НОЦ ФМН созданы волноводы с рекордной длиной распространения сигнала 250 мкм
Новые волноводы с уникальными свойствами найдут применение в волноводных оптических датчиках, плазмонных сенсорах, оптических межсоединениях для процессоров нового поколения.