Специальные газы

  • магистральный азот (чистота 5,0)
  • 15 специальных особо чистых газов (чистота до 6,0)
  • очистка от H2O и O2 до 100 ppb
  • автоматические газовые шкафы
  • автоматическая система газоанализа
  • система оборотного водоохлаждения
  • системы обеспечения сжатым воздухом
   Стабильность и надежность любого производства, в особенности высокотехнологического, обеспечивается его инфраструктурой. На первый взгляд незаметные и располагающиеся, как правило, в подвальных помещениях или технических этажах, данные подсистемы выполняют крайне важную и ответственную задачу 24 часа в сутки 7 дней в неделю. В НОЦ ФМН к таким системам относятся система воздухоподготовки, системы обеспечения сжатым воздухом и техническим азотом высокой чистоты, система оборотного водоохлаждения, система газоанализа и пожаротушения, а также одна из наиболее сложных и опасных – система обеспечения особочистыми специальными газами.

    К специальным газам относят газы или смеси газов, которые имеют узкоспециализированное назначение и удовлетворяют особым требованиям к их чистоте, а также содержанию примесей. В НОЦ «Функциональные микро/наносистемы» используются газы чистотой от класса 4,0 (содержание основного компонента 99,99%) до класса 6,0 (99,9999%). Для транспортировки и хранения газов такой чистоты в НОЦ ФМН используются специализированные баллоны объемом 10, 40 или 50 литров, к которым также предъявляются особые требования, в первую очередь по безопасности. Каждый баллон проходит обязательную процедуру сертификации перед тем, как его доставят и подключат в систему. Проводятся испытания на прочность, на течи, в том числе на гелиевые, тесты на влажность и на частицы. Так, например, для большинства специальных газов, используемых в НОЦ ФМН, недопустимо наличие более одной частицы размером 0,1 мкм на кубический фут (0.028 кубического метра). При изготовлении структур нанометровых размеров попадание частиц в 10-100 раз крупнее самих функциональных элементов может привести к полному уничтожению устройства. Так как данные устройства кропотливо изготавливаются в течение продолжительного времени, от нескольких дней до нескольких недель и более, обнаружение неработоспособного устройства на финальной стадии его производства приводит к колоссальным потерям как времени и человеческих ресурсов, так и материалов.

    При проектировании Технологического центра ФМН учитывался опыт крупных микроэлектронных предприятий, был проведен анализ ведущих мировых центров и их инфраструктурных подсистем, проведен сравнительный анализ поставщиков оборудования для специальных газов, поставщиков самих газов, а также тщательный анализ компаний, занимающихся внедрением данных решений. В результате был образован высоконадежный конгломерат из ведущих американских и немецких производителей, который совместными усилиями реализовал в НОЦ ФМН систему обеспечения специальными газами на самом высоком уровне.

    В НОЦ «Функциональные микро/наносистемы» используется 15 специальных особо чистых газов чистотой до класса 6,0 (99,9999%), среди которых азот, кислород, аргон, гелий, водород, тетрафторметан (CF4), закись азота (N2O), трифторметан (CHF3), октафторциклобутан (C4F8), гексафлорид серы (SF6), аммиак (NH3), трихлорид бора (BCl3), бромоводород (HBr), хлор (Cl2) и моносилан (SiH4). Именно поэтому, в НОЦ ФМН удаляется особое внимание безопасности сотрудников, окружающей среды и оборудования. Так, особо опасные токсичные и взрывоопасные газы и газовые смеси располагаются в отдельном помещении на улице, в котором реализована система бесперебойного электроснабжения, отдельная вытяжная и приточная вентиляция, система нейтрализации газов (скрубберы), а также система подачи сжатого воздуха для пневматических клапанов. Помимо этого, все особоопасные газы располагаются в специализированных бронированных пожароустойчивых газовых шкафах ведущего американского производителя. Данные шкафы являются полностью автоматическими, благодаря чему для использования газа или смены баллона газа не требуется ничего кроме стандартной процедуры отсоединения и установки на место нового баллона. Все необходимые действия для подачи газа в линию, а также контроля за давлением баллона (в случае газообразных реагентов) или его весом (в случае жидких реагентов) осуществляет автоматика. Соответственно, сигнал о необходимости смены баллона также выдается автоматически при опустошении баллона до определенного уровня.

 

    В НОЦ ФМН реализована четырехуровневая система мониторинга, оповещение и предупреждения нештатных ситуаций. Сюда относится, в первую очередь, контроль за малейшими утечками газа. Магистрали всех особоопасных газов выполнены в виде коаксиальных труб, внешняя оболочка которых заполнена инертным газом. В случае любой разгерметизации или повреждения трубопровода, давление инертного газа падает, системы включает тревогу и мгновенно останавливает подачу газа. Помимо этого, в газовых шкафах, а также у каждой технологической установки, использующей газ, установлены высокочувствительные газоанализаторы ведущего немецкого производителя, которые включают сигнализацию в случае обнаружения содержания опасных газов в несколько раз ниже допустимого уровня, еще безопасного для человека. На втором уровне безопасности осуществляется непрерывный контроль потока вытяжной вентиляции (100-200 м3/ч). В случае его незначительного уменьшения выдается предупреждение, а в случае резкого падения – сигнализация и полное отключение газоснабжения. Данная вытяжная вентиляция предназначена исключительно для удаления скоплений газов, которое может происходить только в результате аварии или повреждения трубопровода. Т.е. в исправно работающей системе скопления газов не происходит; тем не менее, вытяжная вентиляция работает в режиме 24/7. Третий уровень безопасности – это система автоматического пожаротушения, а четвертый уровень – высоконадежная система предупреждения нештатных ситуаций. Так, например, в случае возникновения малейшей угрозы утечки газа в помещении на улице, весь персонал чистого помещение внутри здания будет уведомлен и эвакуирован. Это реализовано с одной лишь целью – безопасность и здоровье сотрудников центра.

 

    Для проведения научных исследований и получения результатов, соответствующих и превышающих мировой уровень, в НОЦ ФМН уделяют особое внимание чистоте материалов, из которых и с помощью которых изготавливаются высокотехнологичные устройства. Помимо предъявления жестких требований к чистоте и качеству подложек, металлов для осаждения и других исходных материалов, также тщательно контролируется качество и чистота химических реагентов, воды и, в особенности, специальных газов. Как указано выше, в НОЦ ФМН используется 15 специальных особо чистых газов чистотой до класса 6,0 (99,9999%). В процессе аттестации с приемо-сдаточных испытаний газовых магистралей проводилась их продувка в течение нескольких суток, что позволило добиться уровня содержания влаги и кислорода до 100 ppb (частей на миллиард). На все газовые магистрали установлены дополнительные очистители, расположенные в непосредственной близости к технологическому оборудованию и увеличивающие класс чистоты отдельных газов до 8 (99,999999%), а сами магистрали выполнены из высококачественной немецкой стали с шероховатостью Ra менее 250 нм.

    Помимо аттестации и приемо-сдаточных испытаний систем газоснабжения, в Центре внедрен опыт ведущих мировых микроэлектронных предприятий, благодаря которому разработана специальная методика работы со специальными газами. В дополнение к использованию газораспределительных панелей ведущего немецкого производителя, внедрена в практику процедура смены использованных баллонов, включающая в себя множество стадий продувки участка магистрали инертным газом, а также полное вакуумирование линии в течение суток. Это позволяет с уверенностью получать идентичные и повторяемые результаты в течение длительного периода времени, будь то плазмохимическое травление кремния и его окисла или осаждение тонких пленок благородных металлов.



    Другой немаловажной инфраструктурной подсистемой является система обеспечения магистральным техническим азотом чистотой класса 5,0. Источником азота является резервуар с жидким азотом объемом 6 м3 и весом более 5 тонн от ведущего немецкого производителя. Разработка системы проводилась согласно множеству регламентов и плавил, а сам резервуар находится на учете в Ростехнадзоре. Благодаря специальному газификатору жидкий азот, поступающий в магистраль, испаряется и поступает в технологический Центр уже в газообразном виде. В непосредственной близости от оборудования установлены очистителя газа, повышающие класс чистоты технического азота до 6,0. Чистота технического азота крайне важна поскольку он используется во всех процессах вакуумных установок, а также в системах жидкостной химии, в том числе для продувки и сушки пластин и образцов.

    Практически все оборудование Технологического центра, от установки проявления фоторезистов до мини-завода по производству ультрачистой воды, использует сжатый воздух для обеспечения работы пневматических клапанов. Не важно, используется ли воздух для открытия/закрытия линий подачи проявителей или же для постоянной обдувки оптики с целью предотвращения попадания на нее частиц пыли, требования к сжатому воздуху предъявляются очень серьезные. Для их обеспечения в НОЦ ФМН используется высокопроизводительная компрессорная установка от ведущего Шведского производителя, оборудованная системой осушения воздуха, позволяющая достичь содержания влаги до 100 ppb (частей на миллиард). Магистраль сжатого воздуха спроектирована с учетом возможности расширения и добавления новых потребителей практически на любом участке центра. Это позволяет вводить в строй новое оборудование в кратчайшие сроки.

    Для работы высоковакуумного оборудования, а также для поддержания работы систем обеспечения чистым воздухом требуется водяное охлаждение. В большинстве случаев это реализуется подключением к обычному городскому водопроводу со всеми вытекающими последствиями: образованию кальциевых отложений в трубах и росту микроорганизмов. Это, в свою очередь, может привести к выходу из строя дорогостоящих вакуумных насосов, не говоря уже о невозможности выполнения технологических операций. В НОЦ ФМН для водяного охлаждения используется не обычая водопроводная вода, а пермеат из системы водоподготовки. Пермеат представляет собой предварительно очищенную воду с низкой концентрацией солей, которая образуется на выходе установки обратного осмоса. Пермеат постоянно циркулирует в замкнутом контуре, что предотвращает образование микроорганизмов и других нежелательных образований.

   
Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...