Установка бондинга (сращивания) пластин SB6/8 Gen2, SUSS Microtec (Германия)

Установка предназначена для сращивания пластин путем анодного, термокомпрессионного, полимерного, клеевого бондинга, эвтектики и фриттов.

Основные характеристики и возможности:

• сращивание пластин (кремний и стекло) размерами 200 мм, 150 мм, 100 мм, а также кусков пластин с максимальным линейным размером до 76 мм;
• совместимость с установкой совмещения и экспонирования для автоматической обработки предварительно совмещенных и закрепленных относительно друг друга пластин;
• щелевая подача пластин, обеспечивающая чистоту процесса сращивания;
• толщина склеиваемой системы – 6 мм;
• количество пластин в одной загрузке – 2;
• вакуум в камере бондинга – 5*10^-5 мбар;
• типы газов для прокачки – инертные газы и воздух;
• максимальная температура внутри камеры – 500 ^оС;
• равномерность температуры - ±3 %;
• повторяемость температуры - ±3 %;
• стабильность температуры - ±2 %;
• максимальное напряжение при бондинге – 2 кВ;
• максимальная сила тока бондинга – 60 мА;
• максимальное усилие при бондинге – 20 кН;
• наличие автозагрузчика для подачи предварительно совмещенных пластин в камеру сращивания.