История


Научно-образовательный центр "Функциональные Микро/Наносистемы" (НОЦ ФМН) был создан в 2013 году на базе МГТУ им. Н.Э. Баумана совместно с ФГУП «ВНИИА», как межфакультетский технологический центр, направленный на проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок совместно с ведущими институтами РАН, а также медицинскими, приборостроительными, машиностроительными и другими отраслевыми предприятиями Российской Федерации и зарубежными партнерами.


В 2014 году совместно с западными партнерами начато проектирование чистых производственных помещений (классы чистоты ISO3 — ISO7) для размещения современного высокоточного технологического оборудования.


план.png


В июне 2014 года начато строительство. Проектирование и строительство чистых помещений и инфраструктурных систем проведены с привлечением ведущих специалистов из западных компаний-партнеров. На начальных этапах строительство велось в круглосуточном режиме.


стадия котлован.png   начало.png


Параллельно в период с января по август 2014 года сотрудники НОЦ ФМН посетили с рабочими визитами более 20 ведущих мировых научно-исследовательских центров и производственных предприятий в Великобритании, Сингапуре, Швеции, Дании, Германии, Швейцарии и Японии с целью ознакомления с опытом проектирования и строительства ведущих лабораторий мира, а также применяемыми технологическим, метрологическим и инфраструктурным оборудованием.


В тот же период (январь — август 2014 года) на основе анализа ведущих мировых лабораторий и проведенного экспериментального сравнения (на заводах изготовителях) выбрано технологическое и метрологическое оборудование центра. 


В начале 2015 года начаты установка конструкций чистых помещений и танка жидкого азота.


стены установка.png   стена для чистой комнаты.png 

установка чистой комнаты.png   азот.png

Проведен монтаж станции подготовки деионизованной воды, трубопроводов систем оборотного охлаждения, воздуховодов, технологических вытяжек и линий сверхчистых газов.

оборудование.png   инфраструктура.png инфраструктура чистой комнаты.png   трубы.png баллоны.png   

Успешно завершены строительство, пуско-наладочные работы и введение в эксплуатацию чистых производственных помещений общей площадью более 600 м2, а также уникальных инфраструктурных подсистем - то, что менее года назад казалось невыполнимым - теперь пройденный этап.

аттестация.png

В октябре 2015 года завершены подключение и приемо-сдаточные испытания новейшего технологического и метрологического оборудования. Многие единицы технологического и метрологического оборудования - это новейшие модели установок, выпущенных на рынок в 2014-2015 годах, ведущих мировых компаний в сегменте R&D.


компьютер.png CV200RF.png  оборудования.jpg

В октябре 2015 года в НОЦ ФМН изготовлены первые тестовые наноструктуры с разрешением 10 нм, а уже в декабре 2015 года изготовлены первые суб-100 нм функциональные структуры и изделия в соответствии с планами выполняемых НИОКР. В 2015 году НОЦ ФМН начал свою деятельность с технологической поддержки исследований более чем 100 студентов, аспирантов и ведущих научных групп Университета и партнеров.

наноструктуры.jpg   структуры.jpg


На сегодняшний день НОЦ ФМН — это уникальный ультрасовременный научно-образовательный центр, способный решать широкий спектр задач научного, технологического и прикладного характера. Коллектив НОЦ ФМН – это сплав молодости и опыта, более 50 сотрудников, среди которых опытные профессионалы, инженеры-технологи и проектировщики, а также молодые и именитые ученые. Сотрудники НОЦ ФМН являются выпускниками ведущих инженерных российских и зарубежных ВУЗов, проходили стажировки в мировых научно-исследовательских центрах.

Последние события ФМН