Новая статья в "Optics Communications"

11 октября 2019 года
«Восстановление диэлектрической проницаемости тонкой серебряной пленки с помощью резонансного подхода» 
В статье рассмотрен метод измерения оптических параметров пленки на основе конфигурации Отто. Проведенные исследования продемонстрировали высокую чувствительность метода по сравнению с эллипсометрией. 
Предложен новый метод измерения оптических свойств тонких и ультратонких металлических пленок, а также точного анализа данных. Дело в том, что при малых толщинах тонких пленок (начиная с 50нм) точное определение их оптических параметров становится крайне нетривиальной задачей. При этом данные необходимы для моделирования сложных устройств на основе новых физических принципов. Стандартные методы эллипсометрии не дают такой возможности, так как возникающая ошибка измерений уже становится хуже точности, обеспечиваемой технологическими процессами. 
Исследования команды продемонстрировали, что эллипсометрические углы отражения в конфигурации Отто могут быть использованы для восстановления параметров пленки. Рассмотренный метод позволяет восстанавливать оптические характеристики без дополнительных предположений о диэлектрической проницаемости и является надежной самосогласованной измерительной процедурой. 
The retrieval of a thin silver film dielectric constant.jpg

Р.С. Пузко, А.И. Иванов, Е.С. Лотков, И.А. Родионов, И.А. Рыжков, А.В. Барышев, А.М. Мерзликин 

The retrieval of a thin silver film dielectric constant by resonant approach 
R.S. Puzko, A.I. Ivanov, E.S. Lotkov, I.A. Rodionov, I.A. Ryzhikov, A.V. Baryshev, A.M. Merzlikin 
Optics Communications, Volume 456, 1 February 2020, 124636 
Все новости