ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Новости и события
В рамках внутреннего инициативного проекта по разработке технологии формирования элементов лаборатории-на-чипе (чувствительные элементы оптических и электрохимических сенсоров, резистивные микронагреватели, электрическая разводка и т.п.) в НОЦ ФМН разработан процесс лазерной литографии формирования структур с разрешением до 5 мкм и толщиной до 0,5 мкм с применением ...
Разработан процесс формирования сплошных монокристаллических пленок серебра толщиной в диапазоне 35-100 нм. Пленки получены методом электронно-лучевого испарения и обладают шероховатостью поверхности не хуже 0,2 нм (RMS) на площади 2,5х2,5 мкм и 0,5 нм на площади 90х90 мкм.
Study of Influence of Hydraulic Thermoelectric Generator Resistance on Gasoline Engine Efficiency International
Особенности нанесения жидких фотополимеров при формировании планарных оптических волноводов
Разработан процесс лазерной литографии 1 мкм разрешения с применением позитивного резиста MEGAPOSIT SPR955-CM толщиной 1.7 мкм (США).
В рамках проекта «Наноплазмоника» разработана серия технологических процессов формирования многослойных металл-оксидных структур для изготовления перспективных интегрированных на кристалл линий передачи информации на основе плазмонных эффектов.
Poly (p-xylylene) silver Nanocomposites: Optical, Radiative, and Structural Properties
Микроманипуляторы позволяют расширить сферу применения сканирующего электронного микроскопа ультравысокого разрешения Zeiss...
Сущность изобретения заключается в том, что способ определения стойкости к радиационным и температурным воздействиям наноэлектронного резонансно-туннельного диода...
Оформлена заявка на патент «Конструктивная схема автомобильного термоэлектрического генератора с теплообменником изменяемой геометрии».
Подана заявка на изобретение «Способ неразрушающего контроля качества теплового контакта термоэлектрического модуля».
В декабре 2016 г. получен патент на изобретение «Термоэлектрический генератор в выпускной системе отработавших газов двигателя внутреннего сгорания» № 2606300 с приоритетом.
В статье приведены результаты исследований деградации наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур вследствие диффузии составляющих их элементов.
В НОЦ ФМН введена в эксплуатацию полуавтоматическая зондовая станция MPI TS 2000 SE компании MPI Corporation (Тайвань)
В рамках реализации составной части проекта Фонда перспективных исследований по исследованию технологических методов воспроизводимого изготовления многокубитных сверхпроводящих схем разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al
В целях обеспечения выполнения требований технического задания по результатам НИР «Разработка экспериментального образца источника электрического питания с непосредственным преобразованием теплоты ...
В НОЦ ФМН введен в эксплуатацию спектроскопический эллипсометр SER 800-C компании Sentech Instruments, GmbH (Германия).
В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования нанокристаллических серебряных пленок со средним размером кристаллита менее 20 нм методом электронно-лучевого испарения.
В НОЦ ФМН разработан процесс фотолитографии с применением негативного резиста SU-8 толщиной до 50 мкм. Разработаны технологическая операция нанесения толстых 50 мкм пленок резиста SU-8 с неравномерностью толщины ±5% (3σ) по 100 мм кремниевой пластине...
Для проведения работ по направлению “Бионанотехнологии”, лаборатория микрофлюидики была оснащена двумя микрофлюидными системами фирм Elveflow и Dolomite.