Центр коллективного пользования

Научно-образовательный центр "Функциональные Микро/Наносистемы" (НОЦ "ФМНС") (ранее Учебно-инженерный центр нанотехнологий, нано- и микросистемной техники) – ультра современный технологический центр, комплексно обновленный в 2015-2016 году, который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области оптоэлектронной элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, квантовых вычислений, биоаналитических платформ типа «лаборатория-на-чипе», интегрированных систем на базе МЭМС, а также тонкопленочных и толстопленочных технологий. НОЦ "ФМНС" является структурным подразделением федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана).

В центре под руководством Родионова Ильи Анатольевича выполняются исследования с использованием оборудования различных подразделений Университета, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

Технологический комплекс включает 600м2 чистокомнатных помещений с классом чистоты от ISO3 до ISO7, новейшее технологическое оборудование и необходимую для его работы уникальную инфраструктуру. Проектирование и реализация подсистем технологического центра проведена с привлечение ведущий мировых компаний, работающих в области микроэлектроники и нанотехнологий, таких как MECAL (Голландия), HAGER+ELSÄSSER (Германия), SIT AG (Швейцария), Faith (Германия), Atlas Copco (Швеция), Linde Gas (Германия), Ritterwand (Германия), Forbo Group (Швейцария) и др.

В НОЦ "ФМНС" научным группам МГТУ им. Н.Э. Баумана доступны современные технологии микроэлектроники и нанотехнологий, такие как оптическая и лазерная литография, различные виды травления (плазмохимическое, жидкостное, паровое), методы физического напыления тонких пленок и напыления из газовой фазы, а также широкие метрологические возможности (сканирующая электронная микроскопия, профилометрия, рефлектометрия, эллипсометрия, оптическая микроскопия и др.), а также возможности пробоподготовки, сборки, изготовления трехмерных деталей и корпусов.

Для обеспечения требуемых условий работы технологического оборудования в НОЦ реализованы уникальные инфраструктурные подсистемы. Трехступенчатая очистка воздуха, поступающего в лабораторию, оканчивающаяся HEPA и ULPA-фильтрами, которые задерживают до 99,9995% частиц пыли. Четырехступенчатая система виброизоляция высоко чувствительного технологического оборудования, обеспечивающая виброскорости по трем измерениям менее 1мкм/с. Установка подготовки ультрачистой деионизованной воды класса E1 с выходной фильтрацией частиц размером менее 20нм. Система обеспечения магистральным азотом (чистотой 5,0) и специальными особо чистыми газами (чистотой до 6,0) для реализации операций осаждения и травления тонких пленок. Системы оборотного водоохлаждения, обеспечения сжатым воздухом и низким вакуумом, а также три типа вытяжки со скрубберами для обеспечения требуемой очистки воздуха.

Оборудование НОЦ "ФМНС", закупленное в рамках ФАИП (2007г.) и НИУ (2009-2015 г.), используется для выполнения НИР и ОКР в рамках ФЦП "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007—2013 годы", "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" Министерства образования и науки РФ, различных ФЦП Министерства промышленности и торговли, проектов Фонда перспективных исследований, а также других грантов и хоздоговорных работ. Кроме того, оборудование используется другими структурными подразделениями Университета, а также промышленными предприятиями для выполнения совместных НИОКР. Работа на оборудовании ведется с применением утвержденных и аттестованных методик.

Основные направления деятельности Центра:

В настоящее время НОЦ "ФМНС" осуществляет активное взаимодействие со сторонними организациями, в частности в 2016 году было выполнено 12 работ по техническому заданию заказчиков согласно перечню типовых оказываемых услуг, утвержденному приказом ректора МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Информация о текущей загрузке конкретного оборудования и правилах конкурсного отбора заявок на оказание услуг предоставляется по запросу.

План работы ЦКП на ближайшие 5-10 лет:
В перспективе НОЦ «Функциональные микро/наносистемы» нацелен на исследования и разработку в области создания элементов инвитро и инвиво автономных лечебно-диагностических комплексов, в том числе высокочувствительных биосенсорных систем и платформ типа «лаборатория-на-чипе», а также технологии изготовления элементной базы для квантовых вычислений, квантовых симуляторов и систем квантовой памяти на основе сверхпроводящих цепей.

Планируется продолжить партнерство с бизнесом по следующим направлениям:
  • Решение задач и потребностей бизнеса
  • Разработка инновационных решений
  • Совместное выполнение НИОКР в интересах бизнеса
  • Создание инновационных компаний на базе собственных разработок
  • Разработка образовательных программ повышения квалификации кадров предприятий

Новости ФМН