Родионов Илья Анатольевич
Директор. Кандидат технических наук, доцент
Контакты:
В 2008 году окончил с отличием кафедру «Проектирование и технологии производства электронной аппаратуры» МГТУ им. Н.Э. Баумана. В 2010 году защитил диссертацию кандидата технических наук на тему разработки процессов проекционной литографии при изготовлении СБИС с суб-длинноволновыми проектными нормами. Результаты диссертации внедрены при изготовлении более 10 СБИС российского производства.

С 2005 по 2013 год работал в НИИ Системных исследований РАН, где прошел путь от инженера до руководителя группы конструктивно-технологического моделирования. В НИИСИ РАН получил опыт в технологии изготовления СБИС с проектными нормами 0,5мкм, 0,35мкм и 0,25мкм, проектирования топологии СБИС и фотошаблонов, разработке КД и ТД по НИР и ОКР, моделирования процессов проекционной литографии и химико-механической планаризации, разработки методов коррекции эффектов оптической близости, а также конструкторско-технологического моделирования полупроводниковых устройств. С 2011 по 2013 год руководил отделом исследований и разработок коммерческой организации, где получил опыт полного цикла проведения НИР и ОКР по проектированию и изготовлению специальных электронных устройств.

В 2013 году возглавил созданный в МГТУ им. Н.Э. Баумана научно-образовательный центр «Функциональные Микро/Наносистемы».
Последние события ФМН