
Услуги НОЦ ФМНС
Стоимость оказания платных услуг, оказываемых в НОЦ «ФМНС»
Наименование услуг |
Единица измерения |
Цена (тариф) за единицу измерения, включая НДС, руб. |
Инфракрасный эллипсометр FTIR-Vase (J.A. Woollam Inc, США). Проведение исследования. |
час |
2 189,81 |
Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в (JSPM-4610А, JEOL, Япония). Типовое исследование. |
час |
4 817,21 |
Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в (JSPM-4610А, JEOL, Япония). Исследование при крио температурах. |
час |
5 207,25 |
Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс ("блокиНанофаб 100", НТ-МТД, Россия). Исследование методом СЗМ. |
час |
6 339,56 |
Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс ("блокиНанофаб 100", НТ-МТД, Россия). Травление фокусированным ионным пучком. |
час |
7 072,30 |
Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). Исследование методом СЗМ. |
час |
3 074,85 |
Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). КРС исследования. |
час |
3 362,35 |
Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). СБОМ исследования. |
час |
3 202,63 |
Система сверхвысоковакуумная для проведения послойного анализа выращенных гетероструктур (Specs, Германия). Поверхностный химический и элементный анализ. |
час |
3 401,07 |
Междисциплинарная научно-учебная лаборатория электронно-оптической микроскопии (FEI Phenom, Нидерланды) Проведение измерений. |
час |
3 290,82 |
Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный Bluewave (Microtrac, США). Проведение измерений «Сухим» или «жидкостным» методом (дионизованная вода). |
час |
1 823,73 |
Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный Bluewave (Microtrac, США). Проведение измерений «жидкостным» методом (изопропиловый спирт). |
час |
2 513,73 |
Установка для нанесения твердых покрытий вместе с технологией. (Platit pi-80, Швейцария). Обработка образца. |
час |
3 444,11 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование тонких пленок (с материалами заказчика). |
час |
7 739,78 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки хрома. |
час |
7 832,97 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки алюминия. |
час |
7 808,83 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки титана. |
час |
7 975,12 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки оксида кремния. |
час |
7 820,60 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки оксида циркония. |
час |
7 838,91 |
Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Дегидратация и обработка в парах ГМДС образца. |
час |
2 204,23 |
Лазерный генератор изображения uPG101 (Heidelberg Instruments, Германия). Обработка образца. |
час |
2 931,46 |
Установка контактной литографии и совмещения для бондинга MA/BA8 Gen3 (SussMicro Tec, Германия) Экспонирование образца. |
час |
7 797,24 |
Стенд экспериментальный для участка микрофлюидики в комплекте ( Dolomite , Великобритания). Исследование работы микрофлюидных устройств. |
час |
1 568,42 |
Стенд экспериментальный на базе стереомикроскопа ( Elveflow , Франция и Nikon , Япония).
|
час |
2 399,62 |
Стенд экспериментальный плазменной очистки и активации поверхности в среде инертных газов модель Pico (Diener Electronic, Германия). Обработка образца. |
час |
2 388,79 |
Установка бондинга SussMicroTec SB8 Gen2(SussMicro Tec, Германия). Обработка образца. |
час |
6 477,82 |
Установка инспекции поверхности в ИК-свете WBI200 (Idonu Sarl, Швейцария). Обработка образца. |
час |
1 648,40 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
1 985,62 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 199,29 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 199,64 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 199,64 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 159,21 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
3 672,83 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
3 076,80 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 531,97 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 531,97 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 650,71 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
2 072,50 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 345,01 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
2 376,65 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
2 462,79 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
3 066,60 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
4 499,53 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
9 709,66 |
Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
|
час |
6 018,76 |
Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
|
процесс |
1 445,21 |
Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
|
процесс |
1 756,91 |
Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
|
процесс |
1 943,89 |
Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
|
процесс |
2 240,00 |
Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
|
процесс |
2 476,04 |
Стенд измерительного прецизионного измерения изменений массы MSA225S-100-DI (Sartorius, Германия). Взвешивание образцов. |
час |
1 141,44 |
Стенд для динамического измерения адгезионных и антифрикционных параметров термоэлектрических материалов и коммутационных покрытий на базе станка Allied techcut 5 (Allied High Tech Products, США). Прецизионная резка. |
час |
3 728,59 |
Стенд для прессования из порошка объемного термоэлектрического полупроводникового материала с заданными свойствами на базе станка Allied TechPress 2 ((Allied High Tech Products, США).
|
час |
1 234,89 |
Тепловизор A655sc c германиевым объективом (FLIR, Германия). Использование тепловизора. |
час |
1 382,20 |
Стенде для формирования многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга на базе лазерной системы "Фотон-компакт" (Лазерный гравер, Россия). Работа на оборудовании. |
час |
1 305,87 |
Устройство для вакуумной упаковки пакетов AZ-450E (AirZero, Южная Корея). Упаковка образцов. |
час |
1 902,80 |