Услуги НОЦ ФМНС

Наименование услуг

Единица измерения

Цена (тариф) за единицу измерения, включая НДС, руб.

Инфракрасный эллипсометр FTIR-Vase (J.A. Woollam Inc, США). Проведение исследования.

час

2 189,81

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в (JSPM-4610А, JEOL, Япония). Типовое исследование.

час

4 817,21

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в (JSPM-4610А, JEOL, Япония). Исследование при крио температурах.

час

5 207,25

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс ("блокиНанофаб 100", НТ-МТД, Россия). Исследование методом СЗМ.

час

6 339,56

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс ("блокиНанофаб 100", НТ-МТД, Россия). Травление фокусированным ионным пучком.

час

7 072,30

Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). Исследование методом СЗМ.

час

3 074,85

Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). КРС исследования.

час

3 362,35

Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ, Россия). СБОМ исследования.

час

3 202,63

Система сверхвысоковакуумная для проведения послойного анализа выращенных гетероструктур (Specs, Германия). Поверхностный химический и элементный анализ.

час

3 401,07

Междисциплинарная научно-учебная лаборатория электронно-оптической микроскопии (FEI Phenom, Нидерланды) Проведение измерений.

час

3 290,82

Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный Bluewave (Microtrac, США). Проведение измерений «Сухим» или «жидкостным» методом (дионизованная вода).

час

1 823,73

Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный Bluewave (Microtrac, США). Проведение измерений «жидкостным» методом (изопропиловый спирт).

час

2 513,73

Установка для нанесения твердых покрытий вместе с технологией. (Platit pi-80, Швейцария). Обработка образца.

час

3 444,11

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование тонких пленок (с материалами заказчика).

час

7 739,78

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки хрома.

час

7 832,97

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки алюминия.

час

7 808,83

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки титана.

час

7 975,12

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки оксида кремния.

час

7 820,60

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Формирование пленки оксида циркония.

час

7 838,91

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng ., Канада и 1300Х HMDS , Brewer Science , США). Дегидратация и обработка в парах ГМДС образца.

час

2 204,23

Лазерный генератор изображения uPG101 (Heidelberg Instruments, Германия). Обработка образца.

час

2 931,46

Установка контактной литографии и совмещения для бондинга MA/BA8 Gen3 (SussMicro Tec, Германия) Экспонирование образца.

час

7 797,24

Стенд экспериментальный для участка микрофлюидики в комплекте ( Dolomite , Великобритания). Исследование работы микрофлюидных устройств.

час

1 568,42

Стенд экспериментальный на базе стереомикроскопа ( Elveflow , Франция и Nikon , Япония).
Исследование работы микрофлюидных устройств.

час

2 399,62

Стенд экспериментальный плазменной очистки и активации поверхности в среде инертных газов модель Pico (Diener Electronic, Германия). Обработка образца.

час

2 388,79

Установка бондинга SussMicroTec SB8 Gen2(SussMicro Tec, Германия). Обработка образца.

час

6 477,82

Установка инспекции поверхности в ИК-свете WBI200 (Idonu Sarl, Швейцария). Обработка образца.

час

1 648,40

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (с материалами заказчика).

час

1 985,62

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение ПММА 950k.

час

4 199,29

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение ПММА 950k, А4.

час

4 199,64

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение ПММА 950k, А7.

час

4 199,64

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение ПММА 950k.

час

4 159,21

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение ПММА 950k AR-P 672.03.

час

3 672,83

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение электронно-лучевого резиста CSAR 62 (SX AR-P 6200.04).

час

3 076,80

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение Copolymer Resists EL6.

час

4 531,97

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение Copolymer Resists EL9.

час

4 531,97

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение защитного проводящего покрытия Electra 92 AR-PC 5090,02.

час

4 650,71

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение адгезива TI Prime.

час

2 072,50

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение LOR-5B.

час

4 345,01

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение AZ1505.

час

2 376,65

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение Ultr a - i 123 0,8.

час

2 462,79

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение SPR 955-1,4 CM.

час

3 066,60

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, подслой OmniCoat для нанесения SU8.

час

4 499,53

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение SU-8.

час

9 709,66

Установка нанесения и сушки фоторезиста СЕЕ 200СВХ (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца, нанесение HSQ.

час

6 018,76

Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (термообработка 1 минута)

процесс

1 445,21

Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (термообработка 15 минут)

процесс

1 756,91

Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (термообработка 30 минут)

процесс

1 943,89

Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (термообработка 45 минут)

процесс

2 240,00

Установка сушки и дубления фоторезиста СЕЕ1300Х (Brewer S cience , Великобритания).
Обработка образца (термообработка 1 час)

процесс

2 476,04

Стенд измерительного прецизионного измерения изменений массы MSA225S-100-DI (Sartorius, Германия). Взвешивание образцов.

час

1 141,44

Стенд для динамического измерения адгезионных и антифрикционных параметров термоэлектрических материалов и коммутационных покрытий на базе станка Allied techcut 5 (Allied High Tech Products, США). Прецизионная резка.

час

3 728,59

Стенд для прессования из порошка объемного термоэлектрического полупроводникового материала с заданными свойствами на базе станка Allied TechPress 2 ((Allied High Tech Products, США).
Горячая запрессовка образцов.

час

1 234,89

Тепловизор A655sc c германиевым объективом (FLIR, Германия). Использование тепловизора.

час

1 382,20

Стенде для формирования многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга на базе лазерной системы "Фотон-компакт" (Лазерный гравер, Россия). Работа на оборудовании.

час

1 305,87

Устройство для вакуумной упаковки пакетов AZ-450E (AirZero, Южная Корея). Упаковка образцов.

час

1 902,80