ЦКП

Научно-образовательный центр "Функциональные Микро/Наносистемы" (НОЦ "ФМНС") (ранее Учебно-инженерный центр нанотехнологий, нано- и микросистемной техники) – ультра современный технологический центр, комплексно обновленный в 2015-2016 году, который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области оптоэлектронной элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, квантовых вычислений, биоаналитических платформ типа «лаборатория-на-чипе», интегрированных систем на базе МЭМС, а также тонкопленочных и толстопленочных технологий. НОЦ "ФМНС" является структурным подразделением федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана).
В центре под руководством Родионова Ильи Анатольевича выполняются исследования с использованием оборудования различных подразделений Университета, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.
Технологический комплекс включает 600м2 чистокомнатных помещений с классом чистоты от ISO3 до ISO7, новейшее технологическое оборудование и необходимую для его работы уникальную инфраструктуру. Проектирование и реализация подсистем технологического центра проведена с привлечение ведущий мировых компаний, работающих в области микроэлектроники и нанотехнологий, таких как MECAL (Голландия), HAGER+ELSÄSSER (Германия), SIT AG (Швейцария), Faith (Германия), Atlas Copco (Швеция), Linde Gas (Германия), Ritterwand (Германия), Forbo Group (Швейцария) и др.
В НОЦ "ФМНС" научным группам МГТУ им. Н.Э. Баумана доступны современные технологии микроэлектроники и нанотехнологий такие, как оптическая и лазерная литография, различные виды травления (плазмохимическое, жидкостное, паровое), методы физического напыления тонких пленок и напыления из газовой фазы, а также широкие метрологические возможности (сканирующая электронная микроскопия, профилометрия, рефлектометрия, эллипсометрия, оптическая микроскопия и др.), а также возможности пробоподготовки, сборки, изготовления трехмерных деталей и корпусов.
Для обеспечения требуемых условий работы технологического оборудования в НОЦ реализованы уникальные инфраструктурные подсистемы. Трехступенчатая очистка воздуха, поступающего в лабораторию, оканчивающаяся HEPA и ULPA-фильтрами, которые задерживают до 99,9995% частиц пыли. Четырехступенчатая система виброизоляция высоко чувствительного технологического оборудования, обеспечивающая виброскорости по трем измерениям менее 1мкм/с. Установка подготовки ультрачистой деионизованной воды класса E1 с выходной фильтрацией частиц размером менее 20нм. Система обеспечения магистральным азотом (чистотой 5,0) и специальными особо чистыми газами (чистотой до 6,0) для реализации операций осаждения и травления тонких пленок. Системы оборотного водоохлаждения, обеспечения сжатым воздухом и низким вакуумом, а также три типа вытяжки со скрубберами для обеспечения требуемой очистки воздуха.
Оборудование НОЦ "ФМНС", закупленное в рамках ФАИП (2007г.) и НИУ (2009-2015 г.), используется для выполнения НИР и ОКР в рамках ФЦП "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007—2013 годы", "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" Министерства образования и науки РФ, различных ФЦП Министерства промышленности и торговли, проектов Фонда перспективных исследований, а также других грантов и хоздоговорных работ. Кроме того, оборудование используется другими структурными подразделениями Университета, а также промышленными предприятиями для выполнения совместных НИОКР. Работа на оборудовании ведется с применением утвержденных и аттестованных методик.

Основные направления деятельности Центра:

В настоящее время НОЦ "ФМНС" осуществляет активное взаимодействие со сторонними организациями, в частности в 2016 году было выполнено 12 работ по техническому заданию заказчиков согласно перечню типовых оказываемых услугутвержденному  приказом ректора МГТУ им. Н.Э. Баумана. 
Информация о текущей загрузке конкретного оборудования и правилах конкурсного отбора заявок на оказание услуг предоставляется по запросу.

План работы ЦКП на ближайшие 5-10 лет

В перспективе НОЦ «Функциональные микро/наносистемы» нацелен на исследования и разработку в области создания элементов инвитро и инвиво автономных лечебно-диагностических комплексов, в том числе высокочувствительных биосенсорных систем и платформ типа «лаборатория-на-чипе», а также технологии изготовления элементной базы для квантовых вычислений, квантовых симуляторов и систем квантовой памяти на основе сверхпроводящих цепей.

Планируется продолжить партнерство с бизнесом по следующим направлениям: 
  • Решение задач и потребностей бизнеса
  • Разработка инновационных решений
  • Совместное выполнение НИОКР в интересах бизнеса
  • Создание инновационных компаний на базе собственных разработок
  • Разработка образовательных программ повышения квалификации кадров предприятий

Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines В статье представлена модель для расчёта эксплуатационных характеристик термоэлектрических генераторов для малокубатурных двигателей внутреннего сгорания транспортных средств (например, мотоцикл, квадроцикл или снегоход). Их применение отрывает возможности для получения дополнительной электроэнергии путем утилизации тепловой мощности выхлопных газов. Установка ТЭГ на выхлопной трубе существенно проще, чем замена штатного электро-механического генератора из-за весьма плотной копоновки двс мотоциклетного типа. Разработанная модель позволяет определить основные эксплуатационные характеристики ТЭГ (электрическую мощность, КПД, и массу) при различных вариантах использования. Расчёты выполнены для нескольких компоновок ТЭГ, предложенных для ДВС Yamaha WR450F.
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана"
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМ. Н.Э. БАУМАНА СЕРИЯ: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ #5(116)/2017