Оже-электронный спектрометр, Specs (Германия)

 
Прибор предназначен для проведения химического и элементного анализа поверхности образцов, послойного исследования профиля многослойных наноразмерных структур, проведения количественного анализа и определения концентрации химических элементов исследуемого образца.

Основные характеристики и возможности:
  • минимальный диаметр электронного пучка: 50 мкм;
  • диапазон энергий пучка электронов: от 0 до 5000 эВ;
  • ионная пушка травления ионами Ar+, минимальный диаметр пучка ионов: 125 мкм;
  • диапазон энергий пучка ионов: от 200 до 5 000 эВ;
  • ток пучка ионов: от 1 пА до 10 мкА;
  • диапазон регистрации энергии частиц: от 0 до 3500 эВ;
  • регистрация всех химических элементов в периодической таблице элементов за исключением H и He;
  • чувствительность по концентрации: 0.01 %;
  • максимальный диаметр анализируемого образца: 25.4 мм.
Последние события ФМН