Оже-электронный спектрометр

 
Прибор предназначен для проведения химического и элементного анализа поверхности образцов, послойного исследования профиля многослойных наноразмерных структур, проведения количественного анализа и определения концентрации химических элементов исследуемого образца.

Основные характеристики и возможности:

• минимальный диаметр электронного пучка: 50 мкм;
• диапазон энергий пучка электронов: от 0 до 5000 эВ;
• ионная пушка травления ионами Ar+, минимальный диаметр пучка ионов: 125 мкм;
• диапазон энергий пучка ионов: от 200 до 5 000 эВ;
• ток пучка ионов: от 1 пА до 10 мкА;
• диапазон регистрации энергии частиц: от 0 до 3500 эВ;
• регистрация всех химических элементов в периодической таблице элементов за исключением H и He;
• чувствительность по концентрации: 0.01 %;
• максимальный диаметр анализируемого образца: 25.4 мм.