Установка травления в хлорсодержащих газах

Установка плазмохимического травления в хлорсодержащих газах, Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)

 
Установка плазмохимического травления компании Oxford Instruments с использованием хлорных газов. Оборудована источником индуктивно связанной плазмы Cobra 300 мощностью 5 кВт, который создает высокую плотность плазмы и, как следствие, высокую плотность потока активных радикалов и ионов. Установка обеспечивает следующие технологические процессы травления (однородость по пластине для всех процессов < ± 5 %):

  • поликристаллических кремниевых структур (со скоростью > 100 нм/мин) с наклоном профиля > 88°;
  • благородных металлов, таких как золото и серебро, со скоростью > 100 нм/мин и шероховатостью поверхности < 5 нм (горячее плазмохимическое травление за счет нагрева подложкодержателя до 400 °C) с наклоном профиля > 70°;
  • алюминия и силумина со скоростью > 200 нм/мин и наклоном профиля > 88°;
  • титана и нитрида титана со скоростью > 200 нм/мин и наклоном профиля > 88°;
  • платины со скоростью > 70 нм/мин и наклоном профиля > 65°;
  • никеля со скоростью > 40 нм/мин и наклоном профиля > 60°;
  • хрома со скоростью > 15 нм/мин и наклоном профиля > 80°;
  • сапфира со скоростью > 50 нм/мин и наклоном профиля > 80°;
  • фоторезистов, таких как PMMA, с наклоном профиля 90 ± 1° для создания наноразмерных структур.
Последние события ФМН