Получены первые тестовые структуры с разрешением 10 нм

16 октября 2015 года
Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER. 
В ходе приемо-сдаточных испытаний в лаборатории НОЦ Функциональные Микро/Наносистемы изготовлены одиночные и групповые тестовые структуры с разрешением 10 нм.

 
Все новости
Новая статья в Coatings Опубликована работа
Новая статья в Coatings
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.