Получены первые тестовые структуры с разрешением 10 нм

16 october 2015
Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER. 
В ходе приемо-сдаточных испытаний в лаборатории НОЦ Функциональные Микро/Наносистемы изготовлены одиночные и групповые тестовые структуры с разрешением 10 нм.

 
All news