Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры

11 декабря 2015 года
В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур. 
Разработан весь цикл операций изготовления функциональных структур (очистка – подготовка поверхности – осаждение – литография – травление) по техническому заданию заказчика.

 
Все новости
Новая статья в Coatings Опубликована работа
Новая статья в Coatings
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.