Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры

11 декабря 2015 года
В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур. Разработан весь цикл операций изготовления функциональных структур (очистка – подготовка поверхности – осаждение – литография – травление) по техническому заданию заказчика.

 

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и Всероссийского научно-исследовательского института автоматики им. Н.Л. Духова (ФГУП «ВНИИА»), который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования различных подразделений Университета и ФГУП «ВНИИА», объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им.Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.


Все новости