About
About

Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры

11 december 2015
В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур. 
Разработан весь цикл операций изготовления функциональных структур (очистка – подготовка поверхности – осаждение – литография – травление) по техническому заданию заказчика.

 
All news