7нм: электронная литография ультравысокого разрешения в НОЦ ФМН

10 апреля 2017 года

В узкопериодичных структурах нам удалось достигнуть ультравысокого разрешения процесса электронно-лучевой литографии близкого к заявленным производителем резиста HSQ предельным значениям: 7нм на двумерных периодических решетках и 11нм на одномерных решетках. Поздравляем команду НОЦ ФМН с этим высоким достижением, которое подтверждает не только высочайшее качество разработанного цикла технологических операций подготовка поверхности -> нанесение резистов -> электронная литография -> проявление, а также эффективность и надежность реализованных инфраструктурных подсистем чистой комнаты.

7нм электронная литография ультравысокого разрешения

Электронный резист XR-1541, выпускаемый компанией Dow Corning, является уникальным в своем роде негативным резистом ультравысокого разрешения. Особенность этого резиста заключается в его неорганической основе, что исключает «спутывание» полимерных цепочек и позволяет получить минимальные размеры структур, недостижимые для полимерных резистов. Будучи проэкспонированным резист превращается в стеклоподобное вещество (SiOx), которое способно выдерживать высокие температурные обработки и обеспечивает стойкость при плазмохимических процессах травления. 

Структуры из HSQ используются, как конструкционный слой за счет своей прочности, так и как маска при плазмохимическом травлении. В НОЦ ФМН мы широко используем данный резист, например, в таких устройствах плазмоники, как чувствительные элементы сенсоров, линии передач и волноводы.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости