ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ
МИКРО /
НАНОСИСТЕМЫ
Совместный центр
МГТУ им. Н.Э. Баумана и
ФГУП «ВНИИА» (ГК «Росатом»)
Карьера
Сотрудникам ФМН
О центре
@FMN
Миссия
История
Профильные кафедры
Партнеры
ЦКП
Медиа
Новости и события
ФМН в лицах
Интерактивная карта
Технологии
Оборудование
Литография
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Жидкостная обработка
Метрология
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Инфраструктура
Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода
САПР
Исследования
Основные направления
Нанофотоника и оптика
Квантовые вычисления
МЭМС/НЭМС/МОЭМС
Бионанотехнологии
Альтернативная энергетика
Результаты
Основные проекты
НИОКР
Публикации
Годовые отчеты
Услуги
Контакты
Главная
Технологии
Процессы
Жидкостные химические процессы
Технологии
Оборудование
Литография
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Жидкостная обработка
Метрология
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Инфраструктура
Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода
САПР
Жидкостные химические процессы
Последние события ФМН
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "SENSORS AND ACTUATORS B: CHEMICAL"
Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Опубликована работа 
Опубликована работа