ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ
МИКРО /
НАНОСИСТЕМЫ
Совместный центр
МГТУ им. Н.Э. Баумана и
ФГУП «ВНИИА» (ГК «Росатом»)
Карьера
Сотрудникам ФМН
О центре
@FMN
Миссия
История
Профильные кафедры
Партнеры
ЦКП
Медиа
Новости и события
ФМН в лицах
Интерактивная карта
Технологии
Оборудование
Литография
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Жидкостная обработка
Метрология
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Инфраструктура
Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода
САПР
Исследования
Основные направления
Нанофотоника и оптика
Квантовые вычисления
МЭМС/НЭМС/МОЭМС
Бионанотехнологии
Альтернативная энергетика
Результаты
Основные проекты
НИОКР
Публикации
Годовые отчеты
Услуги
Контакты
Главная
Технологии
Процессы
Плазмохимическое травление
Технологии
Оборудование
Литография
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Жидкостная обработка
Метрология
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Инфраструктура
Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода
САПР
Плазмохимическое травление
Последние события ФМН
День открытых дверей 17 мая 2018 года
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "SENSORS AND ACTUATORS B: CHEMICAL"
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
