Установка плазмохимического травления и осаждения из газовой фазы, Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Установка плазмохимического травления Oxford Instruments с использованием фторных газов оснащена источником высокоплотной индуктивно связной плазмы. Предназначена для плазмохимического травления кремниевых структур, а также для следующих процессов:
Bosch процессов с углом профиля стенок 90 ± 1° и типовыми размерами структур от 10 нм;
Cryo Bosch процессов – охлаждаемый до -150 °C подложкодержатель позволяет осуществлять низкотемпературные процессы травления с высоким аспектным соотношением 30:1, размером гребней боковых стенок < 150 нм и гладкостью < 5 нм;
травления кремния по обратной стороне со скоростью > 3500 нм/мин;
травления диоксида кремния, кварца, стекла, с однородностью по пластине < ± 5 %;
травления оксидных пленок титана со скоростью > 40 нм/мин с наклоном профиля стенок > 80°;
травления вольфрама со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 85°;
травления нитрида кремния со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 88°.
Команда ученых из Университета Чикаго создала квантовый материал, называемый экситонным конденсатом, используя 53-кубитный процессор IBM Quantum Hummingbird
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.
Илья Родионов рассказал участникам и гостям форума о ключевых достижениях НОЦ ФМН в области квантовых вычислений - одного из ключевых направлений технологического развития России.