ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Bauman Sci-Pub Challenge 2024: команда НОЦ ФМН в призах
Руководитель центра Илья Родионов и аспиранты Дарья Москалева и Никита Коршаков заняли 4-е место в общеуниверситетском рейтинге публикаций
Осаждение из паровой фазы
Установка плазмохимического травления и осаждения из газовой фазы
Установка плазмохимического травленияс использованием фторных газов оснащена источником высокоплотной индуктивно связной плазмы. Предназначена для плазмохимического травления кремниевых структур, а также для следующих процессов:
- Bosch процессов с углом профиля стенок 90 ± 1° и типовыми размерами структур от 10 нм;
- Cryo Bosch процессов – охлаждаемый до -150 °C подложкодержатель позволяет осуществлять низкотемпературные процессы травления с высоким аспектным соотношением 30:1, размером гребней боковых стенок < 150 нм и гладкостью < 5 нм;
- травления кремния по обратной стороне со скоростью > 3500 нм/мин;
- травления диоксида кремния, кварца, стекла, с однородностью по пластине < ± 5 %;
- травления оксидных пленок титана со скоростью > 40 нм/мин с наклоном профиля стенок > 80°;
- травления вольфрама со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 85°;
- травления нитрида кремния со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 88°.
