Установки магнетронного осаждения тонких пленок

Установка магнетронного осаждения тонких пленок, Quorum Technologies (Великобритания)

 
Установка предназначена для напыления пленок металлов и углеродных покрытий малых толщин для просвечивающих и сканирующих электронных микроскопов.

Основные характеристики и возможности:
  • кварцевый измеритель толщин плёнок;
  • вращающийся планетарный столик с регулированием наклона для работы с пластинами до 100 мм;
  • возможность нанесения углеродных покрытий;
  • магнетронное распыление следующих материалов: Au, Ag, Gr, ITO, Au/Pd : 80/20, Pt;
  • регулирование тока распыления мишени в диапазоне от 0-80 мА с максимальным временем напыления 60 минут;
  • модуль термовакуумного распыления;
  • столик для работы с образцами размерами: 15 мм, 10 мм, 6.5 мм или 1/8” в диаметре;
  • автоматическая система контроля процесса нанесения;
  • вакуумная камера с противоударной защитой;
  • многофункциональный тач-дисплей.


Модуль для распыления углерода и золота, SPI (США)

 
Система предназначена для нанесения тонких проводящих покрытий (углерод, золото, медь и т.д.) на проводящие и диэлектрические образцы (в т.ч. порошки и пленки) с целью последующего изучения полученных поверхностей с помощью электронной микроскопии и других методов исследований.

Основные характеристики и возможности:
  • высокая скорость нанесения покрытия (до 1 нм/сек для золота) без термического разрушения чувствительных образцов;
  • размер подложкодержателя диаметром 10.2 см;
  • универсальное покрытия для всех размеров и форм;
  • распыление в среде инертных газов;
  • водяное охлаждение образца.
Последние события ФМН