Стилусный профилометр, KLA-Tencor (США)

 
Установка предназначена для исследования поверхности образцов и построения 2D и 3D топографии.

Основные характеристики и возможности:
  • предметный стол диаметром 200 мм с вакуумным зажимом;
  • максимальная длина трассы сканирования – 200 мм;
  • двух и трехкоординатный анализ топографии поверхности широкого спектра материалов, включая полупроводниковые многослойные материалы, тонкие пленки и химические покрытия, микроэлектромеханические системы, оптоэлектронику, медицинские и биологические устройства, а также панели жидкокристаллических дисплеев;
  • пакет сбора данных Profiler 2D и анализа данных Apex 2D (позволяет осуществлять анализ текстур, вычитание формы, вращение, удаление дефектов, расчет объема и расстояний, расчет традиционных параметров высоты ступеней и шероховатости);
  • возможность задания последовательности до 1000 областей измерения и распознавания образцов по подложке за 1 раз;
  • возможность рассчета 2D/3D напряжений в тонких пленках в результате изгиба подложки;
  • анализ подповерхностных слоев;
  • повторяемость измерений вертикальной ступеньки составляет 4 ангстрема что позволяет получать данные с высокой точностью;
  • измерения со сверхмалыми усилиями до 0.03 мг;
  • цветная видеокамера с ПЗС матрицей 5 Мпикс для наблюдения за позиционированием и процессом измерения.
Последние события ФМН