Зондовая нанолаборатория Ntegra Spectra, НТ-МДТ (Россия)

 
Установка предназначена для анализа рельефа, доменной структуры, емкостных свойств микро- и нано- структур методами АСМ, исследования оптических свойств поверхности с разрешением до 30 нм методом СБОМ, элементного анализа материалов методами конфокальной микроскопии комбинационного рассеяния, оценки распределения веществ по поверхности, исследования плазмонных и других свойств поверхности методом зондового усиления комбинационного рассеяния света и флуоресцентной спектроскопии.

Характеристики модуля оптической микроскопии:

• оптическое разрешение – 400 нм;
• фокусное расстояние объектива – 2 мм.

Характеристики модуля АСМ (атомно-силовой микроскопии):
диапазон измерений X × Y × Z – 100 мкм × 100 мкм × 7 мкм;

• разрешение АСМ в плоскости XY – менее 0.1 нм;
• разрешение АСМ в плоскости Z – менее 0.15 нм.

Характеристики модуля конфокальной микроскопии КРС (конфокальной рамановской микроскопии) и СБОМ (сканирующей ближнепольной оптической микроскопии):

• длина волны лазера – 473 нм.