ИК-спектральный эллипсометр IR-VASE, J. A. Woollam Inc. (США)


Прибор предназначен для определения толщин тонких плёнок и многослойных гетероструктур, определения коэффициентов преломления и поглощения в ИК-диапазоне, исследования физико-химических свойств диэлектрических, полупроводниковых, полимерных и металлических структур.

Основные характеристики и возможности:
  • эллипсометрия с вращающимся компенсатором;
  • спектральный диапазон от 2 до 33 микрон (300 до 5000 см-1);
  • спектральное разрешение: от 1 до  64 см-1;
  • угол падения: от 30° до 90° (± 0,005°);
  • время измерения: от 1 до 30 минут (1 угол при разрешении 16 см-1);
  • неразрушающий анализ.
Последние события ФМН