Установка контактной литографии и совмещения для бондинга MA/BA8 Gen3, SUSS Microtec (Германия)

 
Установка предназначена для выполнения контактной литографии на подложках из различных материалов (кремний, стекло), совмещения фотошаблонов с подложками и последующей засветки ультрафиолетовым светом. Установка также предназначена для совмещения пластины с пластины с целью последующего сращивания в установке бондинга.

Основные характеристики и возможности:
  • точность совмещения верхним микроскопом 0.5 мкм;
  • точность совмещения нижним микроскопом 1.0 мкм при литографии;
  • точность совмещения нижним микроскопом 2.0 мкм при совмещении пластины с пластиной для бондинга;
  • универсальная оптика UV250/300/400 в составе системы (экспонирование на длинах волн 240нм, 320нм и 365/405нм) с интеграторами на микролинзах;
  • экспонирование высокого разрешения – при вакуумном контакте не хуже 0.4 мкм на 240 нм, не хуже 0.5 мкм на 320 нм, не хуже 1.5 мкм на 365/405 нм;
  • равномерность засветки – не хуже 1% на пластине 100 мм диаметром и 3% на 200 мм;
  • размер обрабатываемых пластин – диаметром до 200 мм;
  • размер обрабатываемых подложек – до 200х200 мм;
  • экспонирование всей поверхности пластины за один раз;
  • установка оптимизирована для высокого разрешения формирования вертикальных стенок;
  • оптическая система, обеспечивающая уменьшение дифракции;
  • оптическая система, обеспечивающая отсутствие необходимости юстировки лампы в процессе эксплуатации;
  • возможность регулировки интенсивности по форме пятна засветки;
  • система автоматической компенсации выравнивания планарности при работе в контакте или с зазором между пластиной и фотошаблоном;
  • работа при зазоре и при контакте (мягкий, жёсткий, вакуумный) для получения разрешения в 2.5 мкм при зазоре 20 микрон и гарантированного разрешения 0.4 микрон при вакуумном контакте.
Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines В статье представлена модель для расчёта эксплуатационных характеристик термоэлектрических генераторов для малокубатурных двигателей внутреннего сгорания транспортных средств (например, мотоцикл, квадроцикл или снегоход). Их применение отрывает возможности для получения дополнительной электроэнергии путем утилизации тепловой мощности выхлопных газов. Установка ТЭГ на выхлопной трубе существенно проще, чем замена штатного электро-механического генератора из-за весьма плотной копоновки двс мотоциклетного типа. Разработанная модель позволяет определить основные эксплуатационные характеристики ТЭГ (электрическую мощность, КПД, и массу) при различных вариантах использования. Расчёты выполнены для нескольких компоновок ТЭГ, предложенных для ДВС Yamaha WR450F.
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана"
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМ. Н.Э. БАУМАНА СЕРИЯ: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ #5(116)/2017