ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
С момента комплексного обновления в 2015 году совместный научно-образовательный центр Функциональные Микро/Наносистемы стал ключевой площадкой научных и инженерных открытий, обеспечивающей прогресс России по прорывным приоритетным направлениям квантовых технологий, нанофотоники, биотехнологий и перспективных специальных разработок.
Уникальные возможности центра сосредоточены на площади более 2000 кв.м., объединяя в единый механизм 600 кв.м. чистых комнат (ISO3 - ISO7), участок специальной сборки и пробоподготовки, прикладные лаборатории, проектный офис и семь инфраструктурных подсистем.
Революционные разработки ученых и инженеров НОЦ ФМН отмечены ведущими мировыми журналами, активно используются лидирующими научными консорциумами России и мировыми командами.
Сплоченная команда для решения сложнейших задач
Наш коллектив – это сплав молодости и опыта, более 50 сотрудников, среди которых опытные профессионалы, ученые с мировым именем, инженеры-технологи и проектировщики, молодые аспиранты и студенты. Мы активно привлекаем к реализации научных исследований, опытно-конструкторских и промышленных разработок ведущих российских специалистов, живущих за рубежом, с целью их дальнейшего возвращения на Родину.
Отдельной приоритетной задачей является воспитание молодых научных и инженерных кадров. Реализуя "Русский метод обучения", мы привлекаем магистрантов и аспирантов российских вузов-партнеров и формируем новое поколение инженеров, технологов и ученых.
Работа центра невозможна без сложнейших инфраструктурных подсистем.
Проектирование и реализация технологического центра проведены совместно с ведущими российскими и мировыми компаниями, в ходе реализации использованы комплектующих признанных мировых лидеров. Главным проектировщиком и застройщиком центра выступила российская компания, что и определило высокие темпы (один год) и уровень качества реализации.
Трехступенчатая 99.9995% очистка воздуха, четырехступенчатая система виброизоляции высокочувствительного технологического оборудования, ультрачистая деионизованная вода с фильтрацией частиц до 20 нм, система обеспечения особо чистыми спецгазами.
Оборудование ведущих мировых производителей завершает триаду.
В 2015 году технологический центр дооснащен оборудованием последнего поколения ведущих мировых производителей таких, как Carl Zeiss (Германия), Karl Suss (Германия), Oxford Plasma Technology (Англия), Raith (Германия), Heidelberg (Германия), KLA-Tencor (США), YES (США), Sentech (Германия), Nikon (Япония), Ramgraber (Германия), Woolam (США) и др.
Возможности технологического комплекса включают процессы электронно-лучевой, лазерной и оптической литографии, осаждения тонких пленок, плазмохимического, жидкостного и парового травления широкого спектра материалов, а также необходимые контрольно-измерительные методы, возможности исследования новых материалов и пробоподготовки.
Командой научно-образовательного центра Функциональные Микро/Наносистемы (НОЦ ФМН) – совместного кластера МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова» – разработана уникальная технология изготовления фотонных интегральных схем (ФИС). Минимальные размеры фотонных структур составляют 50-нм, а потери оптического сигнала (ключевая характеристика качества) в бауманских ФИС не превышают 5 дБ/м в телекоммуникационном диапазоне длин волн. Эти показатели опережают результаты таких лидеров мировой индустрии, как AIM Photonics, ...
Опубликована работа 
Опубликована работа 
Опубликована работа 
