ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ
МИКРО /
НАНОСИСТЕМЫ
Совместный центр
МГТУ им. Н.Э. Баумана и
ФГУП «ВНИИА» (ГК «Росатом»)
Карьера
Сотрудникам ФМН
О центре
@FMN
Миссия
История
Профильные кафедры
Партнеры
ЦКП
Медиа
Новости и события
ФМН в лицах
Интерактивная карта
Технологии
Оборудование
Литография
Сухое травление
Вакуумное осаждение
Жидкостная обработка
Метрология
Термические процессы
Пробоподготовка и сборка
Инфраструктура
Воздухоподготовка
Виброзащита
Специальные газы
Ультрачистая вода
САПР
Исследования
Основные направления
Нанофотоника и оптика
Квантовые вычисления
МЭМС/НЭМС/МОЭМС
Бионанотехнологии
Альтернативная энергетика
Результаты
Основные проекты
НИОКР
Публикации
Годовые отчеты
Услуги
Контакты
Главная
Обучение
Специальные курсы
Специальные курсы
Последние события ФМН
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "SENSORS AND ACTUATORS B: CHEMICAL"
Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ
Опубликована работа 
Опубликована работа