Запущена станция водоподготовки

29 июля 2015 года
Совместно с российскими и немецкими партнерами проведена сборка и пуско-наладка станции водоподготовки НОЦ ФМН. Этот мини-завод предназначен для производства ультрачистой деионизованной воды класса E1 с выходной фильтрацией частиц размером менее 20 нм. Вода подобного качества необходима для проведения операций отмывки подложек и пластин, работы с химическими реагентами высокой чистоты и использования в технологических процессах проявления резистов участка литографии.

 

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и Всероссийского научно-исследовательского института автоматики им. Н.Л. Духова (ФГУП «ВНИИА»), который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования различных подразделений Университета и ФГУП «ВНИИА», объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им.Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.


Все новости