Запущена станция водоподготовки

Совместно с российскими и немецкими партнерами проведена сборка и пуско-наладка станции водоподготовки НОЦ Функциональные Микро/Наносистемы. Этот мини-завод предназначен для производства ультрачистой деионизованной воды класса E1 с выходной фильтрацией частиц размером менее 20 нм. Вода подобного качества необходима для проведения операций отмывки подложек и пластин, работы с химическими реагентами высокой чистоты и использования в технологических процессах проявления резистов участка литографии.