В НОЦ ФМН разработан технологический процесс 35 нм литографии для формирования высокоаспектных (до 1:10) наноструктур

8 сентября 2016 года
В рамках внутреннего инициативного проекта по разработке технологии формирования оптических волноводов для применения в изделиях нанофотоники (устройства связи и передачи информации, интерферометры, однофотонные детекторы и т.п.) в НОЦ ФМН разработан процесс электронно-лучевой литографии формирования суб-50нм наноструктур с применением позитивного резиста высокого разрешения ZEP520a компании Zeon Chemicals (США).
ZEP520a – широко известный электронный резист с высоким разрешением и высокой стойкостью к плазмохимическому травлению. В ходе работ по отработке процесса экспонирования получены структуры разрешением до 35нм и аспектным соотношением до 1:10 (при толщине резиста до 400нм). 

 технологический процесс 35 нм литографии для формирования высокоаспектных (до 1:10) наноструктур  
  
Разработанный технологический процесс может быть использован при изготовлении устройств нанофотоники, полупроводниковой и квантовый электроники, биосенсорики и других, в которых на первый план выходит возможность формирования наноструктур с высоким аспектным соотношением, а также повышенная стойкость к процессам плазмохимического травления твердых/прочных материалов.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости