В НОЦ ФМН изготовлены первые структуры из фотополимера SU-8 для изделий нанофотоники, МЭМС и микрофлюидики

15 ноября 2016 года
В НОЦ ФМН разработан процесс фотолитографии с применением негативного резиста SU-8 толщиной до 50 мкм.  Разработаны технологическая операция нанесения толстых 50 мкм пленок резиста SU-8 с неравномерностью толщины ±5% (3σ) по 100 мм кремниевой пластине, измерения толщины нанесенных пленок неразрушающим методом и фотолитографии с предельным разрешением до 15 мкм.

Резист SU-8 обладает уникальными свойствами, среди которых высокие оптические, химические и диэлектрические свойства, сочетающиеся с высоким разрешением. 

 
 
      
Разработанный технологический процесс и структуры SU-8 могут быть использованы не только в качестве технологических слоев при проведении электрохимических процессов и плазмохимического травления, но и в качестве функциональных структур (конструкционных материалов) в изделиях МЭМС/МОЭМС, микросбороках, микрофлюидных системах и т.д.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости