Разработан технологический процесс взрывной литографии для формирования металлизированных слоев толщиной до 0,5 мкм

15 марта 2017 года
В рамках внутреннего инициативного проекта по разработке технологии формирования элементов лаборатории-на-чипе (чувствительные элементы оптических и электрохимических сенсоров, резистивные микронагреватели, электрическая разводка и т.п.) в НОЦ ФМН разработан процесс лазерной литографии формирования структур с разрешением до 5 мкм и толщиной до 0,5 мкм с применением двухслойного стека позитивных резистов ведущих мировых компаний производителей.
Процессы проведены с применением установки лазерной литографии μPG 101 компании Heidelberg Instruments (Германия). Установка представляет собой лазерный генератор изображения с технологией «прямой литографии» без применения фотошаблонов и позволяет формировать топологии микроструктур на кремнии, стекле, различных пленках и других плоских образцах с использованием «i-line» фоторезистов. 

Микроструктура на кремнии Сформированная структура
   
Разработанный технологический процесс может быть использован при изготовлении устройств микрофлюидики, биосенсорики, МЭМС/МОЭМС для формирования металлизированных слоев толщиной до 0,5 мкм в случаях, когда маршрутными технологическими процессами не допускаются операции плазмохимического травления, или не предъявляется особых требований к слоям металлизации для сокращения количества технологических операций и стоимости изделия в целом.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости