Разработан технологический процесс формирования серебряных пленок с микронными размерами кристаллитов

25 октября 2016 года

В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования серебряных пленок электронно-лучевым испарением, для которых при толщине 100 нм более 85% площади занята кристаллитами размером более 500 нм. Среднегеометрическая шероховатость получаемых пленок не превышает 1,2 нм, обеспечивая снижение потерь при распространении плазмонов. Это способствует созданию эффективных устройств для практического применения.

СЭМ изображение поверхности пленки серебра с микронными размерами кристаллитов Результат разделения на отдельные кристаллиты

Технология совместима с подложками кварца, сапфира, кремния, слюды. Применение крупнокристаллитных пленок, изготавливаемых по разработанной технологии, позволяет существенно повысить добротность плазмонных устройств за счет радикального улучшения качества топологии изготавливаемых устройств. Дело в том, что при использовании стандартных поликристаллических пленок плазмонных металлов, травление топологии устройств преимущественно идет по границам кристаллитов металлов. Это приводит к неконтролируемому растравливанию стенок, существенному ухудшению шероховатости краев и точности изготовления устройств.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости