НОЦ ФМН на научной конференции SPb Photonic, Optoelectronic, & Electronic Materials “SPb-POEM 2021”

25 мая 2021 года

В рамках конференции SPb Photonic, Optoelectronic, & Electronic Materials “SPb-POEM” Александр Бабурин, руководитель направления нанофотоники в НОЦ Функциональные Микро/Наносистемы, представил доклад о разработанной в центре платформе для изготовления фотонных интегральных схем с волноводами из Si3N4 с малыми потерями (~0,5 дБ/см для длины волны 925 нм) и подготовкой торца схемы оптического качества способом плазмохимического травления для минимизации потерь при сборке волоконно-оптических модулей.

Универсальные линейные фотонные интегральные схемы используются для изготовления фотонных сетей на чипе, лидаров, высокочувствительных сенсорных систем и нейроморфных процессорных модулей. В мире существует ряд производственных площадок с литографией с использованием степперов высокого разрешения для изготовления высококачественных волноводов на основе кремния на изоляторе (КНИ) и фотонных интегральных схем из нитрида кремния, изготавливающих Multi-Project пластины (MPW) для исследовательских групп. При этом быстрое прототипирование высококачественных фотонных схем с использованием электронной литографии по-прежнему остается важнейшей задачей, поскольку оно является более гибким и быстрым в сравнении с MPW-производством.

НОЦ ФМН представляет платформу для изготовления фотонных интегральных схем на основе электронной литографии, применение которой делает возможным преодоление технологических сложностей на пути к созданию фотонных интегральных устройств, включая потери на сопряжение с волокном и распространение сигнала.

Подробнее о конференции можно почитать здесь

Все новости