Опубликована наша новая статья в журнале "SPIE Proceedings"

24 августа 2017 года
Совместимая с массовым производством технология изготовления монокристаллических серебряных метаматериалов и плазмонных устройств

За последние 20 лет были достигнуты значимые результаты в областях изготовления метаматериалов и плазмонных наноструктур. Тем не менее, большие омические потери в металлах и несовместимость технологии с массовым производством по-прежнему представляют собой наиболее серьезные проблемы, которые препятствуют прогрессу в области метаматериалов и плазмоники. Многие недавние исследования в основном сосредоточены на разработке альтернативных материалов с низкими потерями, таких как: нитриды, оксиды полупроводников II-VI, высоколегированные полупроводники и двумерные материалы. В этой работе показано, что серебряные пленки с идеальной монокристаллической структурой могут быть эффективным материалом с низкими потерями, что теоретически уже было хорошо известно. Представлено исследование оптических свойств пленок серебра с различной кристаллической структурой (от нанокристаллических до монокристаллических) и сформированных по новой технологии суб-50 нм монокристаллических непрерывных пленок с низкими потерями. Произведена оптимизация этой технологии дли снижения стоимости изготовления и получения пленок с оптическими потери ниже, чем в статье Джонсона и Кристи и субнанометровой шероховатости, что позволило максимизировать длину распространения поверхностного плазмона. Пленки характеризовались методами АСМ, СЭМ, рентгеновского анализа, профилометрии, спектроскопической эллипсометрии, а также для них измерена длина распространения поверхностного плазмона. Показана возможность изготовления ряда плазмонных наноустройств и метаматериалов на прозрачных (кварц, сапфир, слюда) и непрозрачных (кремний) подложках с использованием электронно-лучевой литографии и сухого травления, вместо обычно используемой технологии ФИП. Кроме того, разработана технология, совместимая с производством многослойных устройств. Исключено негативное влияние операций литографии и травления на качество серебряной пленки и изготовлены устройства миллиметровых плоадей с различными топологиями и превосходной воспроизводимостью для суб-100нм размерами. Технология опробована на опытно-промышленном производстве СПАЗЕРов, плазмонных датчиков, волноводов, метаповерхностей и т.д. Эти результаты могут быть использованы в качестве универсальной технологии производства устройств для широкого круга практических применений в области оптоэлектроники, связи, фотовольтаики и биотехнологии.

СЭМ изображения изготовленных плазмонных устройств
СЭМ изображения изготовленных плазмонных устройств

MASS PRODUCTION COMPATIBLE FABRICATION TECHNIQUES OF SINGLE-CRYSTALLINE SILVER METAMATERIALS AND PLASMONICS DEVICES
Ilya A. Rodionov; Alexander S. Baburin; Alexander V. Zverev; Ivan A. Philippov; Aidar R. Gabidulin; Alina A. Dobronosova; Elena V. Ryzhova; Alexey P. Vinogradov; Anton I. Ivanov; Sergey S. Maklakov; Alexander V. Baryshev; Igor V. Trofimov; Alexander M. Merzlikin; Nikolay A. Orlikovsky; Ilya A. Rizhikov

SPIE Proceedings (ImF 0.37)
Proceedings Volume 10343, Metamaterials, Metadevices, and Metasystems 2017, 1034337 (24 August 2017); doi: 10.1117/12.2271643
Все новости
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines В статье представлена модель для расчёта эксплуатационных характеристик термоэлектрических генераторов для малокубатурных двигателей внутреннего сгорания транспортных средств (например, мотоцикл, квадроцикл или снегоход). Их применение отрывает возможности для получения дополнительной электроэнергии путем утилизации тепловой мощности выхлопных газов. Установка ТЭГ на выхлопной трубе существенно проще, чем замена штатного электро-механического генератора из-за весьма плотной копоновки двс мотоциклетного типа. Разработанная модель позволяет определить основные эксплуатационные характеристики ТЭГ (электрическую мощность, КПД, и массу) при различных вариантах использования. Расчёты выполнены для нескольких компоновок ТЭГ, предложенных для ДВС Yamaha WR450F.
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана"
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМ. Н.Э. БАУМАНА СЕРИЯ: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ #5(116)/2017