Командой НОЦ ФМН разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al

23 декабря 2016 года

В рамках реализации составной части проекта Фонда перспективных исследований по исследованию технологических методов воспроизводимого изготовления многокубитных сверхпроводящих схем разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al с характерными размерами от 100 нм до 500 нм.

Джозефсоновские переходы Al-AlOx-Al являются одним их базовых элементов многокубитных сверхпроводящих схем, которые по состоянию на 2017 год оцениваются, как наиболее перспективное техническое решение, для создания универсального квантового компьютера. Переходы изготовлены по технологии «Dolan Bridge» (мост Долана) с использованием многослойных резистов, процесса взрывной электронно-лучевой литографии и теневого напыления алюминия.

технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al

В ходе проведенных испытаний (под контролем Заказчика) серии тестовых кристаллов на воспроизводимость параметров туннельных джозефсоновских переходов (критические размеры, критические токи, плотность критических токов), изготовленных в НОЦ ФМН совместно с ИФТТ РАН, достигнута воспроизводимость параметров с разбросом лучше ± 10%, что существенно превысило требования технического задания. Поздравляем коллектив НОЦ ФМН с этим первым серьезным достижением в рамках реализации проекта.

Проект выполняется в широкой научно-технической кооперации ФГУП ВНИИА, МГТУ им. Н.Э. Баумана, ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ, и НГТУ.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и Всероссийского научно-исследовательского института автоматики им. Н.Л. Духова (ФГУП «ВНИИА»), который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования различных подразделений Университета и ФГУП «ВНИИА», объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

ИФТТ РАН – федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) был образован 15 февраля 1963 г. Академией Наук СССР с целью обеспечить оптимальное сочетание и взаимодействие фундаментальных исследований в области физики конденсированных сред и физического материаловедения. Решающий вклад в формирование задач и принципов организации ИФТТ сделали выдающийся ученый-металловед, академик Георгий Вячеславович Курдюмов, академик Юрий Андреевич Осипьян и чл.корреспондент Чеслав Васильевич Копецкий.

МИСиС – национальный исследовательский технологический университет «МИСиС» был образован в 1930 г. МИСиС является одним из ведущих технических вузов России, в котором готовят инженеров и специалистов в таких областях, как металлургия и материаловедение, производство и обработка металлов, разработка перспективных материалов и технологий, ресурсосбережение и экология, сертификация и управление качеством, экономика и управление и другим.

МФТИ – один ведущих технических ВУЗов страны, который входит в престижные рейтинги лучших университетов мира. Здесь обучают фундаментальной и прикладной физике, математике, информатике, химии, биологии, компьютерным технологиям и другим естественным и точным наукам.

РКЦ – негосударственная исследовательская организация, которая ведет фундаментальные и прикладные исследования в области квантовой физики, занимается созданием и коммерциализацией новых технологий и устройств, основанных на использовании квантовых эффектов.

НГТУ – многопрофильный университет в Новосибирске. В настоящий момент НГТУ является одним из крупнейших вузов региона - осуществляется подготовка по 95 направлениям (бакалавриат и магистратура). В составе университета 17 факультетов и институтов. Является участником программы - Опорные университеты России.

Фонд перспективных исследований – государственный фонд, целью которого является содействие осуществлению научных исследований и разработок в интересах Российской Федерации, связанных с высокой степенью риска достижения качественно новых результатов в военно-технической, технологической и социально-экономической сферах.