Командой НОЦ ФМН разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al

В рамках реализации составной части проекта Фонда перспективных исследований по исследованию технологических методов воспроизводимого изготовления многокубитных сверхпроводящих схем разработана технология воспроизводимого изготовления туннельных джозефсоновских переходов Al-AlOx-Al с характерными размерами от 100 нм до 500 нм. 

Джозефсоновские переходы Al-AlOx-Al являются одним их базовых элементов многокубитных сверхпроводящих схем, которые по состоянию на 2017 год оцениваются, как наиболее перспективное техническое решение, для создания универсального квантового компьютера. Переходы изготовлены по технологии «Dolan Bridge» (мост Долана) с использованием многослойных резистов, процесса взрывной электронно-лучевой литографии и теневого напыления алюминия. 

 

В ходе проведенных испытаний (под контролем Заказчика) серии тестовых кристаллов на воспроизводимость параметров туннельных джозефсоновских переходов (критические размеры, критические токи, плотность критических токов), изготовленных в НОЦ ФМН совместно с ИФТТ РАН, достигнута воспроизводимость параметров с разбросом лучше ± 10%, что существенно превысило требования технического задания. Поздравляем коллектив НОЦ ФМН с этим первым серьезным достижением в рамках реализации проекта.

Проект выполняется в широкой научно-технической кооперации ФГУП "ВНИИА им. Н.Л. Духова", МГТУ им. Н.Э. Баумана, ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ, и НГТУ.