Впервые в мире получены монокристаллические пленки серебра толщиной менее 35 нм

2 марта 2017 года

Впервые в мировой практике разработан процесс формирования сплошных монокристаллических пленок серебра толщиной в диапазоне 35-100 нм. Пленки получены методом электронно-лучевого испарения и обладают шероховатостью поверхности не хуже 0,2 нм (RMS) на площади 2,5х2,5 мкм и 0,5 нм на площади 90х90 мкм.

Результат атомно-силовой микроскопии

Рентгеноструктурный анализ изготовленных образцов подтвердил высокую степень качества кристаллической решетки (ω-scan FWHM = 0,244). Сравнение результатов EBSD (дифракция обратно отраженных электронов) анализа нанокристаллических и монокристаллических пленок также наглядно демонстрирует высокую степень кристалличности полученных пленок, разориентация по углу кристаллитов для которых составила менее 1˚.

Результат анализа картин дифракции обратно рассеянных электронов Результат анализа картин дифракции обратно рассеянных электронов

Разработанный процесс осаждения совместим с подложками кремния и слюды. Получаемые пленки стабильны во времени и при проведении технологических процессов формирования топологии устройств (отмывка, литография, травление и т.п.).

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости