Разработан технологический процесс 1 мкм лазерной литографии для перспективных применений в области микрофлюидики, фотоники, микромеханики

17 февраля 2017 года

В рамках инициативного проекта по разработке технологии изготовления перспективных микрофлюидных блоков в НОЦ ФМН разработан процесс лазерной литографии 1 мкм разрешения с применением позитивного резиста MEGAPOSIT SPR955-CM толщиной 1.7 мкм (США).

MEGAPOSIT SPR955-CM – предназначен для экспонирования излучением i-линии, g-линии ртутных ламп и интегральным УФ – светом. Фоторезист обеспечивает высокое разрешение до 0,25 мкм и имеет высокую светочувствительность (примерно 165 мдж/см2), а также высокую адгезию к кремнию, окиси кремния и нитриду титана.

SPR SPR

В ходе разработки процесса лазерной литографии был достигнуто 1 мкм разрешение для групповых линий на резистивной маске толщиной 1,7 мкм. Получены групповые линии номиналом в 2 мкм с неравномерностью размеров ±0,1 мкм на длине 70 мм. Разработанный процесс задействован при разработке устройств для перспективных применений в области микрофлюидики, фотоники, микромеханики и др.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости