ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
Bauman Octillion на плановом ТО
Плановые технические работы на платформе в период с 10.07.2026 по 31.07.2026, облачный доступ к квантовому сопроцессору SnowDrop 4Q ограничен
Интерактивная карта
1
Вход в центр
2
Офис
3
Раздевалка ЧПП
4
Плазмохимическое травление
5
Коридор ЧПП
6
Осаждение тонких плёнок
7
Жидкостная химия
8
Литография
9
Метрология
10
Вакуумно-зондовая метрология
11
Эллипсометрия
Air preparation
Vibrodefence precision equipment
Special Gases
Ultrapure water
