Research
Research

Publications

Publications
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
2008
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Родионов И.А., Макарчук В.В.

Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2007. - №3. – с.30-32. – Библиогр.: с.32 (4 назв.).
Authors
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD.
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD.
Глушко А.А., Родионов И.А., Макарчук В.В.

Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2007. - №4. – с.32-34. – Библиогр.: с.34 (5 назв.).
Authors
Конспект лекций по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Конспект лекций по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Макарчук В.В., Родионов И.А.

Библиотека Наноинженерии. – М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008. – 61 с.: ил.
Authors
Методические рекомендации по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Методические рекомендации по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Макарчук В.В., Родионов И.А.

Библиотека Наноинженерии. – М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008. – 52 с.: ил.
Authors
Конспект лекций по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Конспект лекций по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Макарчук В.В., Родионов И.А.

Библиотека Наноинженерии. – М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008. – 61 с.: ил.
Authors
Методические рекомендации по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Методические рекомендации по курсу «ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАНОСИСТЕМ»
Макарчук В.В., Родионов И.А.

Библиотека Наноинженерии. – М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2008. – 52 с.: ил.
Authors
Magnetoelectric effects in layered samples of lead zirconium titanate and nickel films
Magnetoelectric effects in layered samples of lead zirconium titanate and nickel films
D.V. Chashin, Y.K. Fetisov, E.V. Tafintseva, G. Srinivasan

Solid State Commun. 148, 55-58 (2008)
Authors
Исследование влияния параметров технологического процесса литографии на минимальные критические размеры элементов, получаемых на кремниевой пластине.
2007
Исследование влияния параметров технологического процесса литографии на минимальные критические размеры элементов, получаемых на кремниевой пластине.
Родионов И.А.

9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 219-224.
Authors
Спинтроника.
Спинтроника.
Полушкин С.А., Родионов И.А.

9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 243-249.
Authors
Анализ динамики развития современного оборудования проекционной литографии.
Анализ динамики развития современного оборудования проекционной литографии.
Родионов И.А.

9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 210-216.
Authors
Методы коррекции оптических эффектов близости.
Методы коррекции оптических эффектов близости.
Родионов И.А.

9-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007». 18 апреля 2007 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2007, с. 174-178.
Authors
Фотолитография в ультрафиолетовом диапазоне длин волн.
2006
Фотолитография в ультрафиолетовом диапазоне длин волн.
Родионов И.А.

8-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2006». 19-20 апреля 2006 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2006, с. 127-135.
Authors
Исследования методов демпфирования для защиты РЭА от вибрационных воздействий.
2005
Исследования методов демпфирования для защиты РЭА от вибрационных воздействий.
Родионов И.А.

7-ая Молодежная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2005». 20-21 апреля 2005 г. – М.: издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2005, с. 247-252.
Authors
News