Interactive map

1
Entrance
2
Office
3
Gowning room
4
Etching
5
Corridor
6
Thin film deposition
7
Liquid chemistry
8
Lithography
9
Metrology
10
Scanning Probe Microscopy
11
Ellipsometry

Air preparation
Vibrodefence precision equipment
Special Gases
Ultrapure water

News
Bauman Octillion на плановом ТО
Плановые технические работы на платформе в период с 10.07.2026 по 31.07.2026, облачный доступ к квантовому сопроцессору SnowDrop 4Q ограничен