Разработана технология формирования многослойных металл-оксидных структур для изготовления линий передачи информации на основе плазмонных эффектов

В рамках проекта «Наноплазмоника» разработана серия технологических процессов формирования многослойных металл-оксидных структур для изготовления перспективных интегрированных на кристалл линий передачи информации на основе плазмонных эффектов. Применение плазмоники может позволить создать линии передачи для межкристального и межпроцессорного обмена информацией с размерами значительно меньшими длины волны света и сохранении скорости передачи до десятков гигагерц, что дает им неоспоримые преимущества по сравнению с существующими решениями.

Для апробации теоретических расчетов и исследования предельных характеристик с использованием разработанных технологий формирования многослойных металл-оксидных структур изготовлены первые образцы линий передачи, включающие элементы ввода/вывода излучения с периодическими структурами с суб-100 нм размерами и волноводы различной длины вплоть до нескольких миллиметров длинной и субмикронным сечением.