ИК-спектральный эллипсометр

Прибор предназначен для определения толщин тонких плёнок и многослойных гетероструктур, определения коэффициентов преломления и поглощения в ИК-диапазоне, исследования физико-химических свойств диэлектрических, полупроводниковых, полимерных и металлических структур.

Основные характеристики и возможности:

• эллипсометрия с вращающимся компенсатором;
• спектральный диапазон от 2 до 33 микрон (300 до 5000 см^-1);
• спектральное разрешение: от 1 до  64 см^-1;
• угол падения: от 30° до 90° (± 0,005°);
• время измерения: от 1 до 30 минут (1 угол при разрешении 16 см^-1);
• неразрушающий анализ.