Установка предназначена для сращивания пластин путем анодного, термокомпрессионного, полимерного, клеевого бондинга, эвтектики и фриттов.
Основные характеристики и возможности:
сращивание пластин (кремний и стекло) размерами 200 мм, 150 мм, 100 мм, а также кусков пластин с максимальным линейным размером до 76 мм;
совместимость с установкой совмещения и экспонирования для автоматической обработки предварительно совмещенных и закрепленных относительно друг друга пластин;
щелевая подача пластин, обеспечивающая чистоту процесса сращивания;
толщина склеиваемой системы – 6 мм;
количество пластин в одной загрузке – 2;
вакуум в камере бондинга – 5*10-5 мбар;
типы газов для прокачки – инертные газы и воздух;
максимальная температура внутри камеры – 500 оС;
равномерность температуры - ±3 %;
повторяемость температуры - ±3 %;
стабильность температуры - ±2 %;
максимальное напряжение при бондинге – 2 кВ;
максимальная сила тока бондинга – 60 мА;
максимальное усилие при бондинге – 20 кН;
наличие автозагрузчика для подачи предварительно совмещенных пластин в камеру сращивания.