Новая статья в ITM Web of Conferences

29 декабря 2020 года

Цифровое моделирование МЭМС как основа повышения эффективности их производства

МЭМС изделия были успешно внедрены в различные сферы жизни и сегодня вытесняют датчики макроуровня. Мир становится все более оснащенным сенсорами и актуаторами, которые в режиме реального времени отслеживают большое количество разнообразных процессов и находят применение в самых разных областях: от новых высокотехнологичных производств до создания умного окружающего мира. В зависимости от потребителя отличаются требуемые параметры изделий, длительность разработки и их стоимость.

Очевидное различие технологий МЭМС с технологиями интегральных схем заключается в отсутствии в МЭМС мультиплицируемых базовых элементов, реализации в МЭМС различных физических принципов, придание им одновременно механических и электрических свойств. Этим объясняется отсутствие системного подхода на этапах разработки и проектирования технологического процесса МЭМС, а также использование метода проб и ошибок, что часто приводит к неоправданным потерям времени и материальных ресурсов.

Решением данной проблемы можно считать создание баз знаний процессов вместо баз знаний операций или технологий МЭМС. При этом необходимо обозначить важность выделения базовых процессов, в рамках которых возможны создания базовых элементов заданного класса МЭМС. В свою очередь, необходимо определять необходимый и достаточный набор базовых элементов, определяющий возможность проектирования перспективных изделиях.

Предлагаемый подход обеспечивает сокращение жизненного цикла разработки МЭМС на основе использования цифрового моделирования и сопоставления разработанного продукта с возможностями доступных технологий и конструкторских решений.

MEMS chip.jpg