ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
В России запустили технологию передовых чипов сверхпроводниковых квантовых компьютеров
Добротность российских танталовых чипов достигает десятков миллионов
Изготовлены первые функциональные суб-100 нм структуры
11 декабря 2015 года
В ходе выполнения исследований по одной из НИОКР центра разработана технология изготовления функциональных суб-100 нм структур.
Разработан весь цикл операций изготовления функциональных структур (очистка – подготовка поверхности – осаждение – литография – травление) по техническому заданию заказчика.
